米格实验室-SEMI F57认证

1. 什么是SEMI F57认证？

SEMI F57：用于超纯水和液态化学品输送系统的聚合物材料及其组件规格，是直接从材料选择、生产过程、产品结构设计等方方面面进行规范和建议的文件。

F05700 - SEMI F57 - Specification for Polymer Materials and Components Used in Ultrapure Water and Liquid Chemical Distribution Systems；

针对的产品类别：

在半导体超纯水和液态化学品传送系统中的聚合物材料、组件及过程设备；

管道、配件、阀门、过滤壳体、压力传感器、流量计、计量器、校准器；

2. SEMI F57测试项目

SEMI F57 测试需要测试产品的4类参数：

• 阴离子污染

• 金属离子污染

• 总有机碳

• 表面粗糙度

需要测试的产品品类

2.1 阴离子污染：

• 总共8类离子，其名称和限值如表1

• 测试方法：离子色谱（ASTM D4327-17）

表1 阴离子污染

2.2 金属离子污染：

• 总共22类离子，其名称和限值如表2

• 测试方法ICP-MS

表2 金属离子污染

2.3 总有机碳TOC： 限值≤40000 ug/m2

2.4 粗糙度：

• 对于不同工艺的产品表面粗糙度如表3：

• 测试方法：AFM，共聚焦显微镜

表3 产品粗糙度要求

3. SEMI F57样品提取方法

3.1 测试阴离子，金属离子，和总有机碳的液体提取方法如下（根据SEMI F40）：

3.1.1 浸泡液可以是如下液体：

超纯水，超纯硝酸、超纯盐酸和IPA要求，HF，H2O2等（冲洗用超纯水清洗）

3.1.2 前三项测试取样量

4L/D≥10(L-长度 D-直径）

3.1.3 表面粗糙度取样要求

1）用相同制样方法制取平板样品

2）样品尺寸 最小 3x3mm

4. 客户可能要求提供的数据

终端客户可能要求制造商提供的数据