米格实验室-SEMI F47

1.SEMI-米格介绍

北京聚睿众邦科技有限公司，是一家专业从事实验室共享与知识成果转化的国家高新技术企业。公司旗下品牌 “米格实验室”是一个基于互联网+的，面向实体企业，面向材料和半导体领域的研发、检测与技术解决方案服务平台。米格实验室平台在实验室共享与技术服务过程中与SEMI中国建立了长期的战略合作关系，半导体制程设备及装置符合 SEMI （国际半导体设备材料产业协会）标准的安全评估已逐渐成国际半导体买家对半导体设备制造商的普遍要求。通过独立、公正的第三方认证机构依据 SEMI 标准进行安全性评估，可以有助于体现产品的高质量、高安全性和品牌信任度。

米格实验室SEMI标准认证服务平台的承接单位“北京聚睿众邦科技有限公司”获得了SEMI中国的官方认可和推荐，公司拥有国际最具有经验的SEMI认证团队，具备SEMI认证标准中涉及的实验室和相关测试设备，能够针对国内外半导体制程设备、工艺及材料等方面提供SEMI S2、S6、S8、S22等一站式认证解决方案服务，帮助国内外客户开展SEMI认证工作并获得证书！

2.米格资质

平台认证标准范围：

平台重点针对S系列标准提供认证解决方案和一站式服务，主要包括S2，S6，S8，S22，S26的测试验证服务，助您开拓展国内外半导体市场。同时提供F47电压暂降咨询和测试。

平台认证产品类型：

清洗机产品、特气柜产品、机械手产品、PVD及磁控溅射产品、离子注入机台、PECVD系列、刻蚀机产品、氧化炉产品、工业冷水机产品、退火炉系列、工业物料搬运系统、长晶炉系列、化学机械减薄与抛光系列、尾气处理系列等。

3.SEMI F47 介绍

F47 主要适用设备：

（1）主要制程设备

• Etch equipment (Dry & Wet)

• Film deposition equipment (CVD & PVD)

• Thermal equipment

• Surface prep and clean equipment

• Photolithography equipment (Scanner, Stepper & Tracks)

• Ion implant equipment

• Metrology equipment

• Automated test equipment

• Chemical mechanical polishing/planarization equipment

（2）附属设备

• Power supplies

• Radio frequency generators and matching networks

• Ultrasonic generators

• Computers and communication systems

• Robots and factory interfaces

• AC contactor coils and AC relay coils

• Chillers and cryo pumps

• Pumps and blowers

• Adjustable speed drives

电压暂降

单相设备：L-N

三相设备：L1,2,3-N, L1,2,3-L3,2,1

simultaneous sags on all three phase-to-phase pairs are not required.

电压中断

三相设备：三相同时

测试设备

PSL IPC-480V-200A

联系人：王博士 18518717803