米格实验室-Scrubber设备SEMI认证

一. SEMI S2认证

1.SEMI S2 简介

适用范围： S2用于生产、改良和研发环境的所有设备。

目的： 为保护人员、财产和环境安全，消除设备的所有风险，或降低至可管控的低风险。

2.SEMI S2 意义

二. Scrubber设备SEMI认证

1.Scrubber设备简介和分类

尾气处理设备（scrubber）是为MOCVD，CVD，刻蚀机等设备配套，用于半导体，面板，太阳能电池行业的尾气处理， 如PH3，NH3，HCL等，经过处理后的气体排入厂务端的酸排或者碱排；

根据处理方式的不同可以分为以下几类：

1）水洗式

2）燃烧+水洗式

3）电加热式

4）等离子体+水洗

2.备注:

1) S2为主报告，该报告还要包含S8(人机工程学），S22(EN60204-33)-电气设计检查和测试，S6 tracer gas （该类设备工作时涉 及到特气，所以需要S6 tracer gas 验证设备的排气通风在发生气体泄漏时能将危害气体的浓度降低到爆炸点1/4以下，并且不 会泄漏到设备以外）

2) 等离子体和电加热的设备涉及到了电加热和等离子体，需要额外的标准去评估，主要参考以下两个标准

IEC 60519-1 Safety in installations for electroheating and electromagnetic processing –Part 1: General requirements

IEC 60519-5 Safety in electroheat installations –Part 5: Specifications for safety in plasma installations

三. Scrubber设备SEMI认证-了解问题

Scrubber设备认证之前需要以下信息：

1）Scrubber设备的处理方式；

2）Scrubber设备处理的气体以及流量；

3）一次做认证的设备数量；

4）该类设备是需要做S6 tracer gas测试的原因：

原因：该类产品涉及到了危险特气，在特殊情况下，特气可能会泄露造成危险，S6 tracer gas 的目的就是为 了验证该设备的排风功能（exhaust）在发生气体泄露的前提下，能将设备内部的危险气体浓度降低至爆炸点 1/4以下，同时气体不会泄露到设备外部；

测试时用SF6气体代替工艺气体，模拟工艺气体泄露；

5）该类设备需要做S6 tracer gas ，所以在终检时需要该设备能连到exhaust，并且排风量能达到说明书要求的 流量。

四. Scrubber设备SEMI认证-S6 tracer gas