真空蒸镀设备的加热炉有哪些

真空电炉始于20世纪50年代，当时作为一种金属冶炼设备，它主要是在新型材料的生产中应用。而后，在1954年，诞生出第一台真空感应电炉，此后，真空电阻炉、真空电子束炉、真空电弧炉被相继研发出来。在真空蒸镀设备中，起加热作用的电炉又有哪些类型呢？

真空电炉以不同的加热方式进行类型的区分：电弧炉、电子束炉、感应炉、电阻炉等。

1、真空电弧炉

这是一种通过弧光放电产生的电弧热作用与受热对象的加热器。负极（自耗电极）接上受热对象，正极接，接通电源后，在两极间产生弧光放电现象，产生的正离子轰击阴极材料，产生的电子轰击阳极埚，实现电能到热能间的转换。

2、真空电子束炉

这是一种通过电子枪发射出高速电子打到受热对象上的加热器，通过电能到热能之间的转移来实现加热。

3、真空感应炉

这是一种通过具有线圈的中放入物料，在线圈通入交变电流的情况下，交变磁场生成，产生感应电流在物料表面，因而感应电流将产生电阻热，达成加热物料的效果。

4、真空电阻炉

所谓“电阻加热”，从根本上讲就是电能到热能的转换。它基于以下原理：通电加热的电阻加热元件会阻止电流流动，从而在这个阻截过程中产生热量。在原子水平上解释，即电阻加热元件两端之间的电压差会产生电场，而该电场会沿电场方向加速电子，使其通过该电阻加热元件，从而释放出动能，而在电子被电势吸引穿过电阻加热元件的时候，电子与构成电阻加热元件的原子发生碰撞。电子每撞击原子一次，就会把一些动能以热能的形式转移到那个原子上，由无数电子与原子的碰撞累积下来产生的热量。

真空电阻炉是广东振华真空蒸镀设备常用且经典的一种加热电炉，它通过电阻实现工件或材料的加热，即在真空环境中，对加热炉进行通电，这个过程中产生的电阻热是利用辐射来加热材料的。