真空镀膜设备罗茨泵机组的配置要求是什么

在选用真空镀膜设备的抽气泵组时，可选择罗茨真空泵前级配置液环真空泵、滑阀机械泵、旋片机械泵组成的罗茨真空泵组。该类型的泵组不仅适用在真空镀膜行业当中，现在已经被广泛应用于各个行业、各个领域当中。像食品、真空冶金、轻工、航空、石油化工、焊接、热处理等行业。它的抽气速度为30L/s- 2500L/s的范围之内，工作压力则是10⁻¹Pa-10⁵Pa之间的范围。

本篇主要根据罗茨真空泵机组标准(JB/T6921一93)，来讲解关于真空镀膜设备选用罗茨泵机组的相关技术要求标准。

1、以用户遵守真空泵机组运输、安装、使用、保管和维护等规范，使用时间在6个月内的前提的情况下，自泵组制造商发货当天起的一年内，当罗茨泵机组因制造工艺问题而使抽气不能正常进行时，泵组制造商要免费为用户修理或更换相应的零件。

2、真空泵机组表面保持涂漆层清洁，对于一些外露的操作、紧固部件都应做好防锈处理；

3、系统各管路部件需要在泵组装配进行清洁处理，对于一个真空管路的气压试验应在0.25MPa-0.40MPa的压力环境下进行，保压时间为十五分钟， 其间不可出现漏气情况；

4、控制电气系统要求安全、可靠，配有自动保护连锁功能；

5、罗茨泵机组中各种泵所需冷却液或是水环泵的工作液的供给管路系统需要装设断液报警控制装置；

6、需要保护泵的装置来防止真空泵过载，还有防止工作液返喷或反流的装置；

7、可极限真空压力下连续运行1h，而在此期间的真空泵不出现故障问题；

8、可平稳运行，保障在运行时无明显振动，主体机架应可靠且牢固；

9、机组的抽气效率应达到相关技术要求；

10、启动主泵（罗茨泵）0.5小时后的其极限压力的要求应该达到相关标准要求；

11、泵组可允许在温度为5ºC-40ºC的工作生活环境下进行运作；

12、整个泵组在设计时要考虑到当有一台泵损坏的时候，可以方便地更换；

13、泵组的各台组成真空泵必须按照相应的标准制造，并可以通过厂家的检验；

14、机组要求符合罗茨真空泵机组标准(JB/T6921一93)，且按规定程序批准的图纸和技术制造。

广东振华科技真空镀膜设备采用罗茨泵机组，每个真空泵都需要通过合格检验，并加上产品合格证才可出厂。其试验方法和检验规则又有许多要求，机组的检验方法有出厂检验、型式检验。出厂检验是必要的，而型式检验则是在有新产品试制定型鉴定时，或者在生产后真空泵结构、工艺、材质等改变较大时，或者是产品长期停产后又恢复生产时就需要进行了，通常来说是生产批量一定时，每年型式抽检一两台，此外，若国家质量管理局提出进行型式检验的话也是需要进行型式检验的。