柔性OLED解惑之基板玻璃为什么要特殊制作?

在柔性OLED面板生产上,虽然不用玻璃基板作为面板主体来使用,但在实际的生产过程中,仍然要用到基板玻璃。


柔性OLED面板生产过程中,为了保证面板生产的工序连贯性与制程参数测量定义更准确,需要用到不受制程温度影响的载板治具,其中特殊处理的基板玻璃由于可以兼容绝大多数原有的面板生产设备,得到了产业链的青睐。


柔性OLED解惑之基板玻璃为什么要特殊制作?

其实最早的柔性OLED面板生产,是真的把透明PI基膜粘附在原来的固态OLED玻璃基板上进行制作,不过由于透明PI基膜层的表面处理与杂质污染,以及粘胶污染等,良率很低,而且加工表面的平整性也很差,在表面透明PI膜层封装时,又拿不出很好的粘接剂和合适的量产工艺,所以良率很低。


后来ALD原子封装工艺出现在OLED制造领域,受该工艺的启发,透明PI膜层也开始采用类似ALD原子封装工艺来制作,这种模式不但可以得到很薄很致密的OLED封装层,还可以得到十分纯净的透明PI层。


所以有段时间业界制作了一种采用固态OLED基板玻璃为基底,但上面的制程与现在柔性OLED基板工序一致的单面玻璃OLED面板。


后来随着业界借鉴UV减粘光学胶的创意,研发出了激光消融胶,激光剥离OLED面板技术也正式商用量产,也就让现在这种双面透明PI柔性封装的OLED面板量产技术,真正的成熟起来了。


然而在一段量产实践后,面板产线还是发现原来的OLED玻璃基板在整个柔性OLED面板生产转序过程中,会出现性能参数迁移的现象,包括基板本身的离子迁移,和面板制程参数测量定义数据迁移两个方面,给批量品质稳定性带来了困难。


然而只要发现了问题,要解决问题就相对容易多了。产业界在分析了这些柔性OLED面板量产制程中的数据迁移规律后,再次借鉴其它行业玻璃应用经验,研发了新型的柔性OLED基板玻璃载板。


玻璃生产厂商主要是借鉴了高温玻璃器皿行业的微晶玻璃制造经验,在以超纯澄清玻璃粒子做为微晶种子生产了柔性OLED面板行业专用的超纯微晶玻璃基板出来。


这种基板玻璃含游离态的离子量很少,而且形貌变化受高低温冷热冲击很小,可以最大限度的避免柔性OLED面板生产制造过程中的离子污染,以及保证MASK光罩累积公差偏移范围等,对于提升柔性OLED面板生产良率,起到了极大的改善作用。


柔性OLED面板的量产工艺成熟,其实就是一整套量产实践参数模型的建立与优化,很多时候与行业经验是否足够有着极大的关系。而看似简单的柔性OLED基板玻璃载板,正是一个十分鲜明的例子。

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页面更新:2024-04-21

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