中芯国际发展迎来新的助力，国产芯片设备实现了自研，其地位不亚于现在大火的光刻机。随着世界芯片短缺的问题越来越严重，国内各大企业纷纷开启了行业规划。

以中芯国际为例，通过采购量测设备助力国产半导体行业的发展。

量测设备是用来做什么的？

所谓量测设备就是在芯片的生产过程中，用于验证芯片性能，检测产品是否完好的专业仪器，不管是半导体材料的选择还是制造完毕后成品的检验，都离不开量测设备的支持。假如有损坏的芯片未被检测出来，未来将会承担十倍的坏料成本，因此量测设备的重要性不言而喻。

近日量测设备生产商东方晶源表示，已经研制出了国内第一台核心尺寸的量测设备，要知道国内在12英寸晶圆的检测中一直处于设备空缺的状态，这也导致良品率迟迟不能上升，此次东方晶源取得突破，无异于会为国产芯片水平的提高起关键作用。

更振奋人心的是，国产芯片巨头中芯国际已经迅速下单，未来将会大规模应用到国产芯片的制造中。

东方晶源的设备究竟有多牛？

原来这台名为CD-SEM的设备，不仅能够对芯片产品的厚薄程度进行检测，还能在芯片完成蚀刻流程后对其感电性能进行调控，主要对12英寸晶圆进行量测。

一旦有了这台设备，12英寸晶圆在良品率得到提高的同时，还会比同工艺水平芯片具备更强大的性能。

为何中芯国际能够率先下单使用呢？

首先东方晶源和中芯国际合作已经不是一天两天了，早在2019年东方晶源就将研发出来的电子检测仪器率先交给了中芯国际使用，可以说中芯国际也是东方晶源产品忠实的“试错用户”。

其次中芯国际是国产芯片发展水平较高的企业，今年第一季度，其产能的利用率已经突破了98.7%，隶属公司旗下的工厂无一不是满负荷运作，一直到今年的年中，中芯国际的一家晶圆厂单月产能已经突破了7万片，而且良品率更是达到了惊人的99%。

值得注意的是，良品率高于80%已经属于非常不错的水平了，即便是三星最近在5nm工艺上的良品率都不足50%，中芯国际能达到如此成就实属难得。

而且中芯国际已经是国内为数不多能拿下欧美客户订单的企业，今年第一季度的营收中，有45%都是欧美企业所贡献的，上半年的总营收也会突破158亿元，这其中不乏高通和AMD等知名的美企巨头。

得益于自身实力的增强，今年三月份美国企业还已经获批对中芯国际供货，未来中芯国际也会得到更多国外设备产品的支持。此次东方晶源研制出的量测设备，从根本上助力国产芯片良品率的提升，重要性丝毫不亚于蚀刻机。

能和量测设备做对比，蚀刻机究竟是什么？

可能大家对蚀刻机这个产品不是很了解，它跟光刻机一样，都是在芯片生产流程中的一个核心机器，其通过对硅晶圆进行雕刻打磨，使其形成感光凹槽，从而具备存储光源信息的能力。

国内的中微半导体和北方华创等都是该设备生产领域的佼佼者，前不久中微半导体还宣布国内第一台8英寸蚀刻机顺利运抵客户工厂的产线，已经开始投入生产。

眼下中微半导体的蚀刻机工艺水平已经达到了5nm领域，也就是说生产5nm芯片的设备又新添一员大将，其更是已经打入了台积电的设备供应链，除此之外还有中芯国际、SK海力士等国际芯片巨头都是中微半导体的客户。