光刻机，被称之为工业皇冠上的明珠，可以说是代表着全球最高的工业制造技术水准。其技术复杂程度难到令人难以想象，简单说就是在我们头发丝五千分之一大小的维度画电路，就像是从月球向地球上投三分球，你能想像这难度吗？

大家都知道，荷兰ASML生产的光刻机最好，日本的尼康、佳能次之。殊不知，我国早在1965年，就研制出65型接触式光刻机，而荷兰ASML1970年才基本成立，等于我们比荷兰早了5年，然而后来受“造不如买”的影响停滞不前！

ASML垄断高端EUV光刻机

现在荷兰ASML公司可以说是垄断了高端光刻机市场，曾经的光刻机巨头日本的尼康和佳能也已经远远落后，只能制造14 nm以上的中低端光刻机。这三家公司已经占据了全球光刻机市场份额的90%以上，我国的上海微电子紧随其后。

高端光刻机，尤其是极紫外EUV光刻机，只有ASML可以生产，目前已经出货100台，主要供货给台积电、三星和英特尔。我国的中芯国际于三年前花10亿元，订购的一台EUV光刻机，本该于2019年底交货，因为美国的阻挠，至今未到。

前段时间，新任中芯国际副董的蒋尚义，就EUV光刻机重启与荷兰ASML的谈判。但最近ASML总裁最近表示，两个超级大国在半导体技术方面的竞争依然会激烈存在，包括控制ASML光刻机在内。这意味着中芯获得EUV希望渺茫。

虽然EUV光刻机出口方面，短期内不会变化。但我国巨大的市场需求，依然不可忽视。荷兰ASML表示，非常看好我国作为全球第一大半导体市场的发展，宣布要加大对中国市场的布局。此前，ASML就表示在DUV光刻机方面不受许可限制。

英诺赛科与ASML签订协议

果然如荷兰ASML所言，近期就传来了中企与其合作的消息。我国的英诺赛科科技有限公司与荷兰ASML公司近期正式签订协议，将批量购买高产能i-line和KrF光刻机，这表示两家开始深度合作。这虽不是高端光刻机，但意义非常重大。

英诺赛科，专门致力于第三代半导体硅基氮化镓的研发与生产，成功打造了硅基氮化镓全产业链平台。目前已经申请250余项国内外核心专利技术，是全球唯一兼具低压与高压硅基氮化镓芯片量产能力的企业。其合作的厂商有华为、小米等。

今年3月，计划在苏州投产项目一期，有望成为全球产能最大的8英寸硅基氮化镓量产线，年产能可达78万片。ASML的i-line与KrF光刻机拥有最卓越的性能、最高的生产效率，合作达成后，将进一步提升生产效率，增强竞争实力。

英诺赛科生产的30V-650V硅基氮化镓功率及射频器件，应用非常广泛，将用在PD快充、移动电子设备、激光雷达等。第三代半导体器件正逐渐成为业界主流，氮化镓便是其中代表。还记得雷军发布小米10时的先进充电器吗，就是用的氮化镓GaN。

上海新阳购买到三台光刻机

除了英诺赛科，此前我国的上海新阳也有光刻机消息，不过没有大力宣扬。近日，晶瑞股份花7100万购买的一台ASML光刻机到货的消息，可以说传得沸沸扬扬，并且因此股价一度上涨13%。而上海新阳跟其类似，还是在昌瑞之前。

上海新阳先进购买了三台光刻机，型号是阿斯麦ASML-1400，也全部是二手机型，购买的目的也是主要用于干式干法光刻胶的研发。此前只有一台光刻机到厂运行，余下的两台，程序非常复杂，经过积极运作协调，去年最后一天全部到位。

三台光刻机已经开始安装调试，接下来上海新阳将同北方集成电路技术创新中心及华为等公司携手搭建光刻胶验证平台，进行先进光刻胶验证。我国90-14nm的干式光刻胶完全依赖进口，上海新阳希望能填补国产高端光刻胶空白，打破国外垄断。

虽然是二手光刻机，让人感觉非常憋屈，但却意义重大，我国现阶段的技术追赶必然要经历重重困难。就像当年我们的航母，也是从国外购买了二手航母，然后经过消化、吸收和改进，最终才有了如今的辽宁号和山东舰双航母。

在光刻机领域，我们虽然暂时落后了，但好在我们还在行动，我们还有上海微电子。上海微电子虽然只能生产低端光刻机，但其前道光刻机能够实现90nm制程，在国内市场份额超过80%，并且也销往国外，这就是良好的基础。

荷兰ASML当年就不如日本的尼康和佳能，后来抓住了合适机遇，一下成为光刻机霸主。去年，我国中科陆军已经宣布入局光刻机领域，相信一定会有突破，说不定有合适的机遇，上海微电子也可以实现突破性进展！