国产替代的目的不仅仅是降低对国外关键设备和技术的依赖，而且通过持续的研发投入和技术升级，在原本跨国巨头把持的关键领域获得一定的市场份额，这种意义显得更为重大，比如在MOCVD领域，中微公司无论是营收规模还是市占率，均超越了曾经的行业龙头VECCO（维易科）。2019财年VECCO在中国的营收占比仅为16.9%，较2018年的35.8%下降近20个百分点。

VECCO的成长历程给中国半导体设备公司的启示

VECCO（VECO.O）的前身Vacuum Electronic Equipment Co.成立于1945年，最初从事泄露检测仪器设备方面的业务，1989年VECCO时任首席运营官Edward Brauu集合一群高级管理人员进行了管理层收购，并将公司业务转向为半导体和数据存储行业提供相关设备的企业。1994年公司在纳斯达克上市，1999年完成了对Ion Tech公司的收购，进入光学镀膜市场。

进入21世纪后VECCO对外实施多次收购，2001年收购了明尼苏达州圣保罗的Applied EPI，进入分子束外延领域；2003年收购了新泽西州萨默塞特的Encore，进入MOCVD领域；2007-2010年间公司强化了分子束外延MBE和MOCVD业务，并于2010年出售了其计量业务，将业务重心聚焦于工艺设备，2011年公司便已经成为MOCVD领域的第一供应商。

2010年以来VECCO在MBE和MOCVD领域不断创新，推出多款高性能设备。比如2012年公司推出用于高通量光学镀膜应用的SPECTOR-HT离子束溅射系统；2013年推出业界首款全集成系统GENxplor R&D MBE系统；2014年公司不仅推出了面向GaN的MOCVD系统，还收购了Solid State Equipment LLC公司，获得了湿法处理技术并将其进行推广应用。

VECCO的收购步伐同样没有停止。2016年VECCO公司推出了用于红色、橙色、黄色发光二极管以及多结三五族太阳能电池和激光二极管的TurboDisc K475i As/P MOCVD系统；2017年公司收购了Ultratech公司，进入了先进封装和LED光刻领域。目前公司业务主要包括前道半导体设备、先进封装、MEMS及射频滤波器业务、LED照明、显示及化合物半导体以及工业业务四大板块，涉及的设备主要有离子束设备、MOCVD设备、MBE设备、ALD设备、PVD设备、湿法处理设备以及LED光刻、激光加工系统等，涵盖了前道工艺中重要的几道工艺：

资料来源：VECCO中国官网，阿尔法经济研究

通过VECCO的发展历程也可以看出，在半导体设备公司的成长中收购是重要的举措，这对国内中微公司等半导体设备供应商同样适用。实际上早在2016年就有中国资本收购德国半导体设备企业爱思强（Aixtron），但终因某些原因被美国外资投资委员会（CFIUS）否决。因此中国半导体设备企业海外收购还面临诸多市场之外的因素。

中微公司崛起，VECCO的好日子一去不复返了

VECCO的前道半导体设备主要是离子束沉积设备（IBD）和激光尖峰退火（LSA）设备，其中LSA设备有LSA101和LSA201两个主要型号。LSA101是40-14nm节点先进逻辑器件的首选技术，基于VEECO的可定制Unity Platform构建，提供了均匀性和低压处理的根本优势，实现了关键的毫秒退火，从而实现了更高的器件性能、更低的泄漏和更高的良品率。LSA201系统与LSA101有相同结构，但包含了专利的微腔设计，可以在LSA系统中实现全晶圆环境控制，主要用于20nm以下的诸如高K金属栅极结激活和硅镍化合物形成等工艺：

资料来源：VECCO LSA设备，VECCO中国官网，阿尔法经济研究

VECCO的IBD设备有溅射、沉积和刻蚀等，尤其是离子束刻蚀IBE与中微公司的CCP和ICP刻蚀是不同的技术路线。IBE刻蚀目前主要用于对金、铂、银和NiCr等一些无法产生挥发性反应生成物的特殊材料的刻蚀，以及一些有机材料、三五族及其他异质结构材料的刻蚀以及晶圆的表面清洗。

资料来源：VECCO公司IBD设备，VECCO中国官网，阿尔法经济研究

VECCO的LED照明、显示及化合物半导体业务的主要产品是MOCVD，即金属有机化学气相沉积。MOCVD主要用于制备GaAs、GaN等三五族化合物半导体及ZnSe二六族化合物半导体的单晶材料，也就是今年热炒的第三代半导体材料。目前在化合物半导体量子阱、超晶格和异质结等低维结构的制备中MOCVD越来越成为主要手段，尤其是在化合物半导体LED、激光器和高频电子器件等领域具有规模化生产能力。

目前在MOCVD领域中微公司为代表的中国企业具有较强的竞争优势，2018年中微公司MOCVD占据全球GaN基LED用MOCVD新增市场的41%，尤其是2018年下半年中微公司MOCVD更是占据全球新增GaN基LED MOCVD设备市场的60%以上，而丢失市场份额的恰恰是VECCO和爱思强这两家国外企业：

资料来源：中微公司招股书，阿尔法经济研究

实际上从财务数据来看，2018财年VECCO的LED照明、显示及化合物半导体业务营收还有2.50亿美元，而2019财年下降至0.73亿美元；地区收入来看2018财年中国市场营收还有1.94亿美元，2019财年下降至0.71亿美元。相比而言，中微公司MOCVD的营收从2016年的0.16亿元暴增至2018年的8.31亿元，约合1亿美元以上，一增一降反映出了MOCVD行业的市场格局已经发生变化：

资料来源：VECCO年报，阿尔法经济研究

VECCO在2019财报中已经提到，公司“面临来自规模较小的新兴设备公司的竞争……竞争压力的增加也可能导致价格竞争加剧导致利润率下降”，这其中，中微公司及中晟光电等中国公司的崛起，让VECCO竞争压力凸显。

连续七年营业利润亏损，VECCO的竞争优势还剩多少？

单纯看财务数据，除了以亿美元计量的营业收入，在营业利润、净利润和研发投入等方面，可以说近几年VECCO是完败中微公司的。2016-2019财年VECCO的营收由3.32亿美元增长至4.19亿美元，同期中微公司营收从6.10亿元增长至19.47亿元，2019年营收折合美元约为3亿美元左右，而且中微公司的营收增速要好于VECCO。在营业利润方面，2013-2019财年，VECCO已经连续七年营业利润亏损，净利润也亏损严重，相比而言中微公司自2016财年经历大幅亏损后，2017年开始营业利润与净利润持续为正：

资料来源：VECCO年报/中微公司财报，阿尔法经济研究

VECCO连续多年营业利润与净利润亏损，主要原因是近几年除了较大的研发投入，销售、行政及一般费用（SA&G）也挤压了公司的盈利空间。2016-2019财年公司该项费用分别为0.78亿美元、1.0亿美元、0.92亿美元和0.80亿美元，与研发费用相当。2016-2019财年公司的毛利率稳定在35%-40%左右，而研发费用和SA&G费用两项合计占到营收的40%左右，公司已经无盈利可言：

资料来源：VECCO年报/中微公司财报，阿尔法经济研究

当然VECCO在2018年以前的亏损与中微公司的崛起关系不是很大，但2018-2019年中微公司营收分别为16.39亿元和19.47亿元，营收规模不断接近VECCO，对VECCO的压力显而易见。

MOCVD领域中微公司实现了国产替代，而中国又是全球最大的LED市场，化合物半导体重要厂商三安光电、华灿光电等均是中微公司的重要客户，在MOCVD市场留给VECCO的市场空间已然有限。但在前道半导体设备等领域VECCO仍然是不容忽视的龙头企业，尤其是IBE离子束刻蚀、分子束外延MBE等领域中国公司仍然少有涉足，竞争力仍然较弱，因此VECCO连同应用材料、拉姆研究等美国企业一道，仍然具有很强的竞争优势。

中国半导体设备企业目前仍然是部分突破，整体水平与美国差距仍然明显。

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