干法去胶市占率全球第一，快速热处理设备全球第二，而且相关广泛用于台积电、格芯和中芯国际等知名晶圆代工厂产线，收购Mattson公司的屹唐半导体在半导体设备细分赛道的竞争优势明显，但是有一点让笔者深感不安，而且之前有业内人士也提到这一点，那就是对国外零部件的高度依赖。屹唐半导体如此，中微公司如此，材料公司中像江丰电子、安集科技等也如此。

屹唐半导体在招股书中也提到，"若国际贸易政策出现变动……或供应链稳定性受到影响，将会对公司的生产经营产生不利影响"，相比设备的国产化替代，打造安全稳定的供应链显得更为重要。

零部件的卡脖子风险仍存—盘点屹唐半导体依赖的美日供应商

屹唐半导体所需原材料主要为机械类、电气类、机电一体类、气体输送系统等部件，这其中机械类、机电一体类和电气类原材料采购占比合计超过80%。Mattson是一家注册在美国的公司，原有的供应链分布于美国、德国等地。

从屹唐半导体前五大供应商地域分布来看，2020年第一大供应商Rorze是家日本公司，第二大供应商Expol、第三大供应商Ultra Clean Holdings（超科林半导体）、第四大供应商Unitech Tool&Machine是美国公司，第五大供应商Intega GmbH是一家德国公司：

资料来源：屹唐半导体招股书，阿尔法经济研究

中微公司的供应商与屹唐半导体类似，2018年第一大供应商是超科林，第二大供应商是日本Ferrotec，2016年Rorze是其第四大供应商：

资料来源：中微公司招股书，阿尔法经济研究

Rorze成立于1985年3月，公司位于广岛福山市，在东京证券交易所上市（6323.T）。公司主要为客户提供晶圆机械传输系统组件，包括Atmospheric Robot（常压机械手臂）、Aligner（晶圆寻边对准）、Vacuum Wafer Robot（真空机械手臂）等关键部件，上述部件在6-12英寸半导体制造设备上广泛应用。此外公司还向客户提供可用于EUV掩膜的RSR160掩膜传输系统，是Rorze为数不多的整机设备：

资料来源：Rorze公司晶圆机械传输组件，公司官网整理，阿尔法经济研究

2021财年Rorze实现营收508.03亿日元，其中半导体关联装置与面板关联装置营收分别为337.02亿日元和124.25亿日元，均超预期：

资料来源：Rorze2021财年主要财务数据，公司财报整理，阿尔法经济研究

日本DAIHEN公司也提供面向半导体和面板的传输手臂和Aligner，此外公司还提供RF/MW等等离子体发生电源，其中13.56MHz的高功能型高频RF电源可用于面向3D NAND和先进FinFET工艺的刻蚀设备：

资料来源：DAIHEN公司半导体设备部件，公司官网整理，阿尔法经济研究

Ultra Clean Holdings是美国一家为半导体设备厂商提供关键子系统的供应商，其子系统主要有精密机械手解决方案、气体输送系统、各种工业和自动化生产设备及化学品输送模块、顶部板总成、工艺模块、其他高级组件等。公司的工艺模块专指半导体制造设备的子系统，主要包括框架组件、气体和化学品输送模块、腔室和机械子系统等，此外公司还提供部件清洗和工具零件、晶圆和沉积、洁净室材料等的微污染分析等服务。

2020财年超科林实现营收13.99亿美元，其中产品销售收入11.31亿美元，营收占比80.9%；国际市场销售收入8.17亿美元，营收占比58.4%。超科林在财报中没有披露中国市场销售收入，但2020财年国际市场营收同比增长47.1%，要远大于美国市场13.8%的营收增速，或许这其中也有中微公司等大陆企业的助力。

半导体国产替代，自主可控供应链急需解决

华为、中芯国际等中国企业接连被制裁以及28nm成熟节点设备出口管制力度加大等情况下，全社会已经意识到半导体制造设备、材料和EDA/IP国产替代、自主可控的重要性，但是作为设备的重要组成部分，子系统自主可控的重要性或许很多人还没有意识到。

VLSI数据显示，2020年全球半导体设备销售额达到689亿美元，这其中全球在半导体设备业中的花费约为580亿美元，子系统销售额约为80-90亿美元，仍然是一个很大的市场。

子系统中Repairs&Maintenance（维修+支持）占比46%，Spare Parts（零部件）占比32%，Retrofits&Upgrades（替换+升级）占比22%。在最关键的零部件中，Vacuum Subsystems（真空泵）、Process Power电源、Wafer handling、Fluid Management是其中最关键的部件，而这些业务主要在超科林、日本Roze等企业手里：

资料来源：子系统构成，VLSI数据，阿尔法经济研究

在子系统市场中，德国蔡司、MKS、Edwards和超科林等排名全球前十，这其中没有一家是中国企业。蔡司排名第一与其向ASML提供光学镜头组件等高价值零部件有关。MKS在RF电源、气体压力及流量控制组件等领域具有领先竞争优势，2020财年公司营收23.3亿美元，其中产品营收占比达到86.5%，服务营收占比13.5%：

资料来源：2020年全球前十子系统供应商，VLSI数据，阿尔法经济研究

参照全球第一大半导体设备制造商应用材料，其设备中除个别部件是自行设计、采取外协定制加工之外，90%的部件是合同采购件，采购自外部供应商。而对中国设备厂商，以全球领先的干法刻蚀制造商中微公司和全球排名第一的干法去胶设备屹唐半导体为例，其重要零部件仍然依赖美日企业，仍然存在极大的供应链风险。试想一下，要是哪天超科林、Rorze等企业因为某些不可抗拒原因，对中微公司等实施断供，这些企业是不是面临无米下锅的困境？是不是与如今无芯可用的华为一样了？

但问题是与设备、材料的国产替代类似，现如今国内仍然无法实现关键子系统的自主可控。这些子系统需要很高的精度和缺陷控制等要求，天然具有很高的技术壁垒，再加上这些子系统在具体的设备中多为定制件，而且市场规模总体较小，企业切入的积极性不高。

半导体设备国产替代的难度仍然很大，国内企业还要更努力才行。针对部分部件市场空间较小、经济价值有限的情况，国家相关部门也要积极牵头，协同解决。

收购是一个极富效率的好办法，就像2020年12月万业企业对全球领先的半导体制造设备气体输送系统领域精密零组件及流量控制解决方案供应商Compart Systems的收购，但在现如今的大环境下，类似的收购恐怕难上加难，因此国产子系统的自主可控还是要靠自己。

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