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作者:任志辉,毕业于清华大学,曾任美国顶级科技公司高管、大中华区副总裁
2026年第一季度,荷兰光刻机巨头阿斯麦(ASML)财报数据引发关注:其在华销售额占比从2025年第四季度的36%骤降至19%,创近年新低。
与此同时,欧洲科技界领军人物之一、ASML首席执行官富凯在5月20日公开警告,阿斯麦目前向中国出售的DUV设备,本就是基于2015年,为八代之前的老技术。进一步收紧DUV光刻机对华出口,只会加速中国自研替代进程,“把中国逼入绝境,反而会激发中国自主突围的决心”。
一边是全球光刻机龙头,在华市场份额断崖式下滑,一边是中国半导体业界集体发声、国家层面规划加持,这场围绕光刻机的博弈,正从“技术禁运”走向“自主突围”的关键转折点。

ASML首席执行官富凯
这场博弈的导火索,始于美国主导的半导体设备出口管制,且持续层层加码。
一句话先说明DUV和EUV有何分别。
DUV是深紫外光刻机,负责生产28纳米及以上成熟芯片;EUV是极紫外光刻机,专门制造7纳米以下顶级先进芯片,也是美国最先彻底禁运中国的设备。
2020年起,美国率先禁止ASML向中国出口EUV光刻机,直接切断中国获取7纳米以下先进制程芯片制造设备的路径。
今年4月,美国国会进一步提出《硬件技术控制多边协同法案》(MATCH法案),试图将DUV光刻机纳入全面禁售范围,逼迫荷兰、日本等盟友协同封锁。
管制收紧的影响直接体现在市场数据上。ASML财报显示,2025年其在华销售额占比仍达33%,2026年1月预计全年占比降至20%,而第一季度实际占比已经跌到了19%。中国海关数据同步印证,2026年第一季度,中国自荷兰进口光刻设备,同比下降24.3%。
对此,ASML首席执行官富凯公开警示,过度封锁将加速中国自研。他以“沙漠求生”比喻:“如果我把你放到沙漠里,告诉你今后再也没有食物了,你需要多久才开垦出菜园?这是存亡的问题。”这种表态,本质上是对技术封锁反噬效应的理性判断,也侧面印证中国自研进度已形成潜在替代压力。

第一季度,ASML在华销售额占比降至19%
外部封锁加剧之际,中国半导体行业吹响“自主攻坚”号角。今年3月,中芯国际创始人王阳元、北方华创董事长赵晋荣等 9 位业内领军人物在《科技导报》集体撰文,呼吁 “十五五”(2026-2030 年)期间举全国之力打造“中国自己的ASML”,突破技术封锁。这一呼吁迅速引发国际关注。
业内文章直指核心痛点:光刻机是芯片制造的“卡脖子”关键,ASML的EUV光刻机集成10万个零部件、涉及5000家供应商,本质是全球产业链的集大成者。美国正是通过掌控EUV、用于芯片设计的电子设计自动化(EDA),以及硅片,这三大核心领域,遏制中国先进制程发展。
客观而言,中国光刻机技术与ASML仍存在代际差距。目前ASML垄断全球EUV市场,唯一能量产7纳米以下制程芯片;其DUV光刻机可覆盖14-90纳米制程,是全球主流成熟制程核心设备。
而中国当前主力量产机型为上海微电子的90纳米光刻机,28纳米DUV光刻机仍处于研发测试阶段,预计短期内实现交付。中国在EUV的激光光源、移动平台和光学系统等关键领域已经取得突破性进展,但如何“举国之力”将这些技术整合为完整产业体系,是“十五五”期间必须解决的问题。
中国拥有全球最大的半导体市场和完整产业链支撑。成熟制程芯片需求旺盛。在功率半导体、汽车电子、物联网芯片等领域,90-28纳米制程设备完全可以满足需求,为国产光刻机提供广阔的市场验证空间,形成“研发-量产-迭代”的良性循环。

阿斯麦无尘车间
从本质看,当前光刻机博弈是科技霸权与产业自主的较量。美国试图通过技术封锁维持半导体领域垄断地位,但其策略存在明显局限性:
一是全球产业链深度融合,荷兰、日本等盟友并非完全顺从,荷兰反对MATCH法案,本质是担忧失去中国市场;二是封锁倒逼资源聚焦,中国集中力量攻关核心技术,反而加速技术突破;三是市场需求难以替代,中国成熟制程芯片需求庞大,ASML虽然在华份额下滑,但还是将中国视为长期关键市场。
对中国而言,突破光刻机技术是一场持久战,需要理性看待差距、稳步推进。一方面,要坚持“举国体制+ 市场导向”结合,国家统筹资源,打破企业、科研院所壁垒,避免重复研发;另一方面,要立足成熟制程,先实现28-90纳米光刻机规模化量产,满足国内市场需求,再逐步向EUV等先进制程突破。同时,加强国际合作,在非敏感领域开展技术交流,吸引全球人才,降低研发难度。
ASML的预警早已揭示真相:技术封锁从来不是遏制创新的终极手段,反而会激发自主创新的强大动力。当前光刻机博弈,既是挑战,更是中国半导体产业实现跨越的机遇。ASML在华份额下滑、业界集体发声、国家战略加持,三重信号共同指向:中国突破光刻机技术封锁,已进入关键攻坚期。
必须清醒认识到,光刻机技术突破非一蹴而就,5年时间需聚焦核心、稳步推进,既要避免盲目乐观,也不必妄自菲薄。正如业内文章所言:“核心技术买不来、要不来、讨不来,只能干出来。中国芯,前进的道路上有落石、有陷阱、有荆棘、有蛇蝎,但是没有任何障碍能够阻挡中华民族崛起的步伐”。
在新型举国体制支撑下,依托庞大市场和完整产业链,中国逐步攻克光刻机核心技术、打造自主产业体系,是必然趋势。这场跨越5年的攻坚,终将推动中国半导体产业摆脱外部束缚,实现真正的科技自立自强。
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更新时间:2026-05-23
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