国际电子商情讯 据日经报道，29日晚间，台积电南科晶圆18厂5nm全厂停产，原因是该厂在产线不慎使用了部分疑似受污染的气体。

报道指出，当涉事工厂发现问题之时，气体污染影响的范围较大，因此台积电除了暂时将18厂5nm全厂停产，还立即通知已回家的员工返回工厂控制事态，并将一些供应商挡在厂区之外。

国际电子商情了解到，气体污染对芯片制造会带来一定影响。联华林德中国区总裁唐瑞平在2019年时曾向《国际电子商情》姊妹刊《电子工程专辑》介绍，几乎所有制造过程中都需要使用大量氮气，用以净化和抑制化学敏感工序。因为“工业气体是半导体发展必不可少的血液。”据悉，联华林德是全球第三大气体公司——林德（Linde）和台湾地区工业气体制造商在80年代末、90年代初于大陆地区合资成立的子公司。

唐瑞平指出“对电子行业而言，设备投资很贵，工艺要求很复杂，良率是竞争力的保证。要怎样得到好的良率，除了工艺保证之外，工业气体的纯度、稳定性、可靠性都是先决条件。业内最近两年发生过一些良率事故，都是因为气体纯度出了问题。”

台积电回应：传言严重夸大，事件影响甚微

对此，台积电今(30)日回应说“传言过于夸大”，并强调，经内部确认是有部分来自厂商供应的气体疑似受污染，已即时调度其他气体供应，为确保生产品质无虞，正进行严密后续作业，此事件对营运并未造成显著影响，后续将持续追踪。

台积电总裁魏哲家也在近期法说会上表示，5nm制程良率良好，在智能手机与高效运算相关应用驱动下，需求持续强劲，估今年5nm制程将占整体晶圆销售的20%。