美光：计划2024年将EUV引入DRAM生产

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就在之前包括三星、SK 海力士等韩国存储器大厂开始启用 EUV 光刻机进行存储器的生产之后，美光科技现在准备也要加入采用 EUV 光刻机的生产行列了。

日前美光在财报会议透露，目前美光正跟 EUV 光刻机厂商ASML 展开采购谈判工作，预计 2024 年将开始生产采用 EUV光刻机生产DRAM产品。

根据美光科技总裁兼执行长 Sanjay Mehrotra 在日前的财报会议上的说法，过去美光一直在关注 EUV 光刻机用于生产上面的进展，而且实际上之前也参与了 EUV 技术的生产发展。而在观察到 EUV 光刻机及整个生态系统成熟之后，美光也会在产品路线图中插入EUV光刻技术。

美光还宣布2021财年资本支出将提高至95亿美元，部分原因是美光开始与ASML开始谈判购买EUV设备。美光高层表示，EUV 光刻机预计要到 2024 年才会导入，首发将会用于 1-Gama 的 10 纳米级制程DRAM上，而后面还会进一步扩展到更下一代的 1-Delta 的 10 纳米级DRAM生产中。