微导纳米荣登A股 紧抓半导体发展机遇 促进半导体装备国产化

今日，江苏微导纳米科技股份有限公司（股票简称：微导纳米，股票代码：688147）在上交所科创板上市。微导纳米以原子层沉积（ALD）技术为核心，主要从事先进微、纳米级薄膜沉积设备的研发、生产和销售，向下游客户提供先进薄膜沉积设备、配套产品及服务。

1)持续研发创新 强化技术壁垒

微导纳米是国内少数能在短期内快速反馈并协助客户解决产线上ALD技术问题的设备厂商之一，具备承担下一代光伏电池设备和高端先进制程半导体设备项目的技术储备和人才基础。在原子层沉积反应器设计技术、高产能真空镀膜技术、真空镀膜设备工艺反应气体控制技术、纳米叠层薄膜沉积技术、高质量薄膜制造技术、工艺设备能量控制技术、基于原子层沉积的高效电池技术等前沿科技领域持续构筑和强化技术壁垒。

自成立以来，微导纳米已在微、纳米级薄膜沉积核心技术领域具有丰富的技术积累。公司将基础研发与行业应用紧密结合，以下游客户的实际需求为导向，产品率先用于光伏电池片生产过程中的薄膜沉积环节。在成功将ALD技术应用于光伏领域后，公司开发了对技术水平和工艺要求更高的半导体薄膜沉积设备，并实现了国产ALD设备在28nm集成电路制造关键工艺（高介电常数栅氧层材料沉积环节）中的突破。

在光伏领域，微导纳米目前ALD量产设备镀膜速率已经突破10,000片/小时。镀膜效果以沉积Al2O3薄膜进行测量，其薄膜厚度均匀度达到片内不均匀性≤3%、片与片之间不均匀性≤3%、批与批之间不均匀性≤3%。公司产品具备优良的产能提升能力与产品性能，在保障光电转换效率的同时，有效帮助下游电池片厂商大幅降低了设备投资额与生产消耗成本。

在半导体领域，微导纳米是国内首家成功将量产型High-k原子层沉积设备应用于28nm节点集成电路制造前道生产线的国产设备公司。设备总体表现和工艺关键性能参数达到国际同类水平，并已获得客户重复订单认可，成功解决了一项半导体设备“卡脖子”难题。除此之外，公司已经开展在半导体其他细分领域以及柔性电子领域中的应用。

足以见得，微导纳米在研发创新方面毫不松懈，2019年至2021年，公司研发费用分别为3,109.05万元、5,373.47万元、9,704.00万元。此外，公司荣获工信部2021年第三批专精特新“小巨人”企业、2021年苏南国家自主创新示范区独角兽企业、2020年度江苏省小巨人企业（制造类）等荣誉称号，并被认定为江苏省原子层沉积技术工程技术研究中心、江苏省外国专家工作室、江苏省博士后创新实践基地、江苏省研究生工作站、江苏省省级企业技术中心，公司凤凰300原子层沉积设备入选第十五届中国半导体创新产品。

2）行业空间广阔 建立资源优势

由于ALD技术的表面化学反应具有自限性，因此拥有优异的三维共形性、大面积成膜的均匀性和精确的膜厚控制等特点，广泛适用于不同环境下的薄膜沉积，在光伏、半导体、柔性电子等新型显示、MEMS、催化及光学器件等诸多高精尖领域均拥有良好的产业化前景。

近年来，在国家政策的拉动和支持下，我国半导体产业快速发展，整体实力显著提升，设计、制造能力与国际先进水平不断缩小，但半导体先进设备制造仍然相对薄弱。《中国制造2025》对于半导体设备国产化提出明确要求：在2020年之前，90-32nm工艺设备国产化率达到50%，实现90nm光刻机国产化，封测关键设备国产化率达到50%。在2025年之前，20-14nm工艺设备国产化率达到30%，实现浸没式光刻机国产化。

为推动我国半导体产业的发展，国家先后设立国家重大专项和国家集成电路基金，国家集成电路基金首期募资1,387亿元，二期募资超过2,000亿元。伴随着国家鼓励类产业政策和产业投资基金不断的落实与实施，本土半导体及其设备制造业迎来了前所未有的发展契机，而薄膜沉积设备作为半导体制造的核心设备，将会迎来巨大的进口替代市场空间。

根据中国光伏行业协会统计，2021年我国产能排名前十的电池片企业总产能达到246.1GW，约占全国总产能的68.2%，总产量合计约为155GW，约占全国总产量的78.3%。经过了多年的发展，微导纳米积累了丰富的光伏电池片薄膜沉积技术，树立了良好的市场口碑，公司与前十名电池片企业均建立了合作关系，光伏领域已覆盖包括通威太阳能、隆基股份、晶澳太阳能、阿特斯、天合光能等在内的多家知名太阳能电池片生产商。半导体领域先后获得多家国内知名半导体公司的商业订单，并与多家国内主流半导体厂商及验证平台签署了保密协议并开展产品技术验证等工作。

随着主要客户市占率的不断提升及生产经营规模的不断扩大，有利于公司产品的市场渗透率提升，促进公司业绩的持续增长。2019年至2021年，微导纳米营业收入分别为21,581.56万元、31,255.41万元、42,791.71万元，主营业务毛利率分别为53.97%、51.89%、45.83%。

本次微导纳米科创板上市，募集资金投向基于原子层沉积技术的光伏及柔性电子设备扩产升级项目、半导体配套设备扩产升级项目、集成电路高端装备产业化应用中心项目以及补充流动资金。募投项目的实施，将有助于公司把握下游行业发展趋势，扩大公司应用于半导体领域的ALD设备生产规模，提高公司薄膜沉积设备的生产能力和市场占有率，增强公司的盈利能力。促进国内薄膜沉积设备与技术的发展，从而进一步实现半导体行业高端装备的国产化替代。

微导纳米也公开表示将通过自主创新，不断提高设备的技术水平和产品的竞争力，拓展并深化核心技术应用，不断打造高端装备制造商的优质品牌，推动高端技术装备的国产化、产业化。