不建议大家过度解读中芯国际N+1、N+2工艺和上海微电子28nm光刻机

不建议大家过度解读中芯国际N+1、N+2工艺和上海微电子28纳米光刻机。

一、打个比方

农民经过几代人的努力,终于开垦出了完全属于自己家的地,然后农民家的孩子跟地主家的孩子说,你不要牛,我家的地是自己开的,我永远不会求你的。孩子没有想到的是,地主家还掌握着水源,地主家孩子回家一哭,地主切断了给农民家的水。

目前夸张的解读往往来自境外媒体和国内自媒体,且不说国内自媒体的意图是什么,境外媒体过度解读的目的恐怕是很明确的。即使你没有,我也可以给你宣传的神乎其神,因为他们想给那些欧美制定政策的人看,而现在正是相关政策出台的关键时期。更多这方面的解释就不多说了,咱们还是回归科普吧。

二、N+1、N+2工艺

所谓N+1、N+2工艺,其实就是中芯国际14nm工艺的后续工艺,肯定要比现在的14nm工艺更加先进。之所以不叫7nm,第一个原因可以意会不可以言传,该懂的都懂,你要不懂就想想地主;第二个原因是技术上的问题。我们还是多说说技术上的原因吧。

没有EUV光刻机,想生产7nm芯片,不是不可以,只是不容易。就好像用5厘米的笔来画1cm的线,直接画是不行的,需要用一些小花招。这些小花招是需要付出代价的,会提高成本,降低良率(合格率),效率也不如人家可以直接画的。

当然还有一点很重要,现在的工艺定义,已经偏离了最初定义的初衷。最初的定义,是想通过线宽来定义晶体管密度,线宽越小,晶体管密度越大,每提高一代,晶体管密度大概增加一倍。但是这个经,被台积电和三星给念歪了,线宽就是线宽,跟晶体管密度关系已经不那么大了。只要线宽提高了,哪怕晶体管密度只增加一点点,也叫更新了一代。所以你就知道为啥大家都说Intel的10nm比台积电的7nm工艺性能还要好。

除了线宽,值得改进的地方还有很多。所以,N+1、N+2工艺有可能做到性能跟7nm差不多,但线宽不一定是7nm,自然不必要跟着它命名了。至于研发进展如何,我没进过工厂,不知道。企业自己官方网站都不宣传,我们跟着瞎起什么哄啊。

三、28nm光刻机

28nm光刻机,也就是大家所说的浸没式DUV光刻机,其实并不应该叫28nm光刻机。光刻机的光是深紫外(DUV)激光,波长193nm,并不是28nm。之所以大家都把它叫28nm光刻机,只是因为主要应用到28nm工艺上。浸没式,就是相对于干式光刻来说的,干式光刻目前只适用于90nm及以上工艺,再细的线宽用干式光刻就不划算了(因为得用上刚才说的小花招)。

浸没式光刻,通过液体改变光的折射率,提高光学组件的数值孔径,目标是让193nm激光可以画出更细的线条来,可以画比波长的一半更细的线,从而适应28nm工艺的需求。大家都知道,这项技术是台积电工程师提出来的,ASML付诸实践研发成功。

至于上海微电子的28nm光刻机,有人说已经研制成功了,也有人说研制失败了。不管成功与失败,有两点很重要。第一,就算研制成功,也做不到国产化率100%,一些关键零部件还是可能被卡脖子。第二,现在最需要的是时间和实践而不是嘴贱。

所谓时间,就是你蒸一锅馒头,还是有流程的,不是一张嘴、一动手,馒头就好了。关键是一些核心零部件的国产化替代,更需要时间,而且时间并不掌握在上海微电子手里面。比如电动晶圆台,据报道国内供应厂家提供的产品并没有通过验证,改进需要时间。

所谓实践,就是研发成功和站稳市场还有距离,一台精密的仪器,必须经过非常有经验的芯片代工厂拿去生产,经受住生产验证,性能参数跟设计数据一致,故障率低,成本不高,才有机会逐渐占领市场,否则就只能吃补贴过日子。

最后总结一下,路漫漫其修远兮,吾将上下而求索。不明真相地夸大宣传,只会让来之不易的成果被限制,前面的路将更加崎岖坎坷。

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页面更新:2024-05-17

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