说到芯片，估计大家都知道是什么玩意，但说到光刻机很多人可能就不知道是什么东西了，光刻机就是制造芯片的机器设备，没有光刻机芯片是没法生产出来的，所以光刻机对于芯片制造业到底有多重要大家都知道。

光刻机技术哪家强？

光刻机是生产大规模集成电路的核心设备，是制造和维护光学和电子工业的基础。光刻机技术目前是世界上最尖端的技术之一，只有少量国家掌握，所以光刻机的价格是非常昂贵的，一台高端的光刻机甚至可以卖到6亿元左右（目前全球最贵的EUV光刻机单台售价已经超过6.3亿元），即便卖这么贵还供不应求，很多订单都需要排队生产，甚至有部分国家给再多的钱也买不到。

对于这么尖端的技术，按理来说那些芯片强国应该是光刻机的制造强国才对，但让大家感到意外的是，目前世界上最好的光刻机不是来自美国，韩国，英国、日本等这些芯片强国，而是来自荷兰。

目前在全球45纳米以下高端光刻机市场当中，荷兰ASML市场占有率达到80%以上，而且目前ASML是全球唯一能够达到7纳米精度光刻机的提供商，所以ASML才是全球芯片业真正的超级霸主一点都不过分。正因为得益于技术领先，目前ASML的市场份额也是很大的，目前全球知名芯片厂商包括英特尔、三星、台积电、SK海力士、联电、格芯、中芯国际、华虹宏力、华力微等等全球一线公司都是ASML的客户。

比如2018年全球光刻机出货量大概是600台左右，其中荷兰的ASML出货量就达到了224台，出货量占全球的比例达到30%以上。

为何荷兰能诞生全球最顶尖的光刻机厂商？

荷兰的光刻机技术强大主要靠ASML，ASML成立于1984年，由飞利浦与先进半导体材料国际（ASML）合资成立，总部位于荷兰的费尔德霍芬。1995年，ASML收购了菲利普持有的股份，称为完全独立的公司。

而ASML之所以能够做到全球光刻机的霸主地位，我觉得主要有几下几个原因。

1、强大的研发投入

光刻机是一个高精尖的技术，其技术难度是全球公认的，如果没有持续强大的研发投入根本不可能到技术领先。ASML从成立至今，对于研发的投入都非常大，比如2019年ASML的销售额大概是21亿欧元，而研发费用支出就达到了4.8亿欧元，研发费用占营收的比例达到22.8%，这个比例是非常高的，正因为有大量资金的投入，所以ASML在关键技术领域一直处于领先地位。

从1991年PAS 5000光刻机面市取得巨大成功开始，再到2000-2001年具有双工作台、浸没式光刻技术的Twinscan XT、Twinscan NXT系列研制成功，到强大的研发投入让ASML的技术一直处于全球领先。

2、美国以及欧盟的支持

虽然ASML是一家荷兰公司，但他背后却有着欧盟以及美国的力量，多关键技术都由美国以及欧盟国家提供。比如德国先进的机械工艺以及世界级的蔡司镜头，再加上美国提供的光源，这就使得ASML公司在光科技术方面飞速发展，几乎到达了无人能敌的境地。

因为背后有美国的力量，所以ASML一直以来都禁止向中国出口高端光刻机，直到2018年这一情况才有所转机，2018年ASML同意向中国出口两台7纳米的高端光刻机，预计2019年交货。而ASML之所以一反常态同意向中国出口高端光刻机，一方面是因为中国在光刻机的一些关键技术上已经取得了突破，另一方面是中国访问团访问荷兰的时候，给荷兰带去了巨大的订单。

3、准确抓住了技术转折点

目前世界最顶尖的光刻机有三个厂家，分别是ASML，尼康和佳能。2007年之前这三大厂家其实并没有太大的差距，竞争的转折点是出现在2007年。2007年ASML配合台积电的技术方向，推出了193纳米的光源浸没式系统，在光学镜头和硅晶圆片导入液体作为介质，在原有光源与镜头的条件下，能显著提升蚀刻精度，并成为高端科技的主流技术方案。而当时日本的尼康与佳能却主推157纳米光源的干式光刻，这个路线后来被市场所放弃，也成为尼康跟佳能迈入衰退的一个转折点，后来才有了ASML的垄断。

4、技术分工与合作

虽然ASML的研发人员占员工总数的比例达到4成左右，但是ASML很多技术都是外包，这样可以让ASML专注于核心技术与客户需求，大大提高研发的效率。

5、对细分技术领域企业的控制

生产光刻机对技术的综合要求非常高，这里面涉及很多技术领域，为了获得全球最顶尖的技术，ASML先后投资了很多企业。比如2007年收购了美国的Bion，强化了专业光刻检测与解决方案能力；2013年完成对紫外光源龙头 Cymene的收购，2016年获得光学镜片龙头德国蔡司24.9％的股份，这两项投资进一步加强了ASML在极紫外光领域的领先优势。

现在微电子集成电路技术对世界的各种科技电子产品越来越应用广泛了，一个国家的发展越来越离不开高端芯片了，一个国家越是发展得越快对高端芯片需求量越大，比如我国的芯片需求占世界的50％以上，到现在我们的比较有名芯片设计商就是华为的麒麟了，但是依然跟国际水平还是有一定差距，在芯片制造流程中的高端光刻机更差得远一点。

对，世界上最顶端的光刻机来自荷兰阿斯麦的极紫外光光刻设备，差不多1.2亿美元一台，还垄断着世界高端光刻机市场，像现在最先进制程的7纳米，有的国家有钱也是买不到的。

那么为什么这种世界高科技光刻机公司不在美国，而在荷兰呢？首先最重要的这种技术并不是美国搞不出来。

一，是荷兰阿斯麦公司是自世界各国大公司投资的公司，其中大股东就有（美国）的英特尔公司，韩国三星，还有我国的台积电。这样的的好处是集资容易，风险共担，重要的是有美国大股东控制着。

二，是荷兰阿斯麦生产的光刻设备，一些重要部件来自世界很多国家，比如最重要的光源技术来自美国的一家公司，镜头來自德国等，这里又有美国公司参与控制。

三，是觉得把这种高科技公司放在荷兰可以更好的垄断这个产业，不使技术外流，一是荷兰是美国的小弟不担心；二是美国国内有反垄断法，如果把这样的公司放美国国内可能会被析分成至少两家公司，这样人才技术就会不集中，研发起来慢，也可能浪费钱，造成产能过剩，而在荷兰就没有这种法律，这样就比较好控制。

四，是美国掌握着世界芯片最顶端的芯片设计技术，光刻机是为芯片服务，如果美国停止设计高端芯片，那么荷兰的高端光刻机毫无用处，产量也是被美国控制着，不过这种优势美国越来越掌握不住了。

总的来说世界最高端的光刻机虽然在荷兰，但是被美国控制着。

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ASML师出名门，而且在这一行内起步较早，如此强大并不令人意外。

首先，成为光刻机领域的老大，ASML走过了很长一段时间。实力的生成经过了时间的考验。

ASML最早是飞利浦光刻设备研发小组，而飞利浦早在1973年就推出了彼时称为“新型”的光刻设备，不过基本成本及技术的原因，这一产品并没有推广成功。此后比较长的时间，ASML这个昂贵的研发小组，都在困难中支撑前行，好在有飞利浦这棵大树好乘凉，不至于沦为破产与结束的境地。

1995年ASML成功上市，这是ASML最大的转折点：进了资本市场就意味着有钱进行技术并购。光刻机是技术含量极高的行业，ASML通过自研与并购，掌握了一系列的技术，这为它树立全球光刻机市场的至高地位奠定基础。ASML对研发是相当舍得投入的，每年营收的15%左右是投在研发上，如此多的技术创新投入，其产品创新与换代自然游刃有余。

其次，ASML对于合作有独到见解与融合模式。

在光刻机中光刻曝光技术是最为核心的，这个ASML自己牢牢把控着，而其余的采取模块化外包，当然这种外包也包括了研发。比如光学镜头部件是德国厂家，光源及调量设备是美国厂家，等等。一个光刻机里，体现了全球产业链的协同创新。在扩展市场版图时，与全球最优秀的公司合作，现在也是中国一些大公司的做法。

除此之外，2012年起，ASML还允许大客户对ASML股权投资，当然这有两个前提：一是只能进行少数股权投资；二是必须对研发支出作出承诺。像英特尔、台积电、三星这样的大公司就是这样被捆绑进来的。

第三，目前，在中国大陆市场的收入占到了ASML全球业务的二成以上。

2019年ASML高端的EUV光刻机计划出货30台，ASML并且表示，中国半导体行业购买EUV光刻机不受限制。此前有猜测认为，ASML高端光刻机对中国禁售。不过，ASML对此并不认同。EUV光刻机是目前最先进的半导体制造设备，当然最先进的同时也是最昂贵的。

目前，中国半导体产业在中低端芯片上已实现全面的突破，对高端芯片的追求也在行进中，在这样的时候，EUV光刻机显然是很被需要的。

制造芯片最好的光刻机来自荷兰而不是美国，荷兰是如何做到的？

集成电路玩的好的是美日韩及中国台湾地区，而集成电路制造设备玩的最溜的国家是荷兰。光刻机技术哪家强？荷兰阿斯麦（ASML）准没错！

由于大规模集成电路制造的核心设备是光刻机，因此对芯片的工艺制成起着决定性作用。荷兰阿斯麦公司如今是全球最大的光刻机设备及服务提供商，在这个领域是王者的存在，尤其是借力攻关EUV设备，彻底形成了全球技术垄断地
位。从昔日的三足鼎立局面（阿斯麦、尼康、佳能、）到如今的绝对王者地位，阿斯麦用了三十来年的时间，就在这个尖端技术领域建立了极高的技术壁垒。

早期发展并不顺利

面临着市场饱和及资金不足的双重压力。在市场方面主要两大拦路虎是佳能与尼康，这两家的市场份额占比相当高。资金方面主要是发展环境趋向恶化，产品技术趋向过时，从而导致资金链的断缺。既然在市场夹缝中要死不活的生活着，还不如想法子突围。于是阿斯麦公司首先向政府求助及合作研发，因此拓展了外延的研发网络。其做出一个英明的决策就是推出双赢机制，与供应商建立利益分享机制，与研究机构及科研院校建立互惠合作机制，从而挽救了阿斯麦在市场夹缝和生存逆境的苟活状况，成为阿斯麦走向王者宝座的重大转折点之一。

敢为人先，打破保守策约！

尼康和佳能这些日系厂商的决策比较保守，因此研发的157nm光刻机的效果不是很理想，这给阿斯麦即带来机遇又带来了挑战。

上面说到日系佳能与尼康，还有个很牛的公司就是台积电。台积电工程师提出以水为介质制造浸润式光刻机，这个在当时的光刻机制造领域是属于颠覆性技术，但日系厂商保持观望态度，而没有对这种颠覆性制造光刻机技术的深入探索。可是阿斯麦却敢为人先，决心深入研究，与台积电联合攻关历经三年时间，首台具有颠覆性意义的浸润式光刻机Twinscan TX成功问世，使得半导体几十年的发展宏图因浸润式技术而改写。阿斯麦因此由于浸润式微影设备的研发与问世，从此其市场的主导地位越来越高，市场占有率也一路飙升到之前佳能与尼康市场占有率的总和。由此可知，浸润式微影光刻机设备的问世，使阿斯麦成走向巅峰之路的又一重大转折。

真正做到在这一领域全球垄断地位，还是由于EUV设备的攻关成功，使的阿斯麦占领这一领域的制高点。因为极紫外光光刻机设备EUV能将芯片制程推进到10nm以下，所以是芯片制程突破10nm的核心设备。

前面说道日系中的佳能与尼康，对于浸润式光刻机技术这样具有颠覆性意义的路径保持观望态度，后面又因为极紫外光技术难度大，资金投入大，又几近放弃。但阿斯麦依然坚持研发投入，而且对外寻找研发支持。极紫外光设备研发成功，成为目前世界上在精度、生产效率最高的光刻机设备，也使得阿斯麦成为全世界唯一拥有EUV尖端技术的厂商。

虽然现在世界上最好的光刻机设备不是美日韩等芯片制造强国，而是荷兰的阿斯麦，背后也有欧盟及美国的大力支持。阿斯麦发展核心技术的战略非常明确，战略目标非常清晰，关键技术攻关的专注度非常高，而且稳定的利益共同体的构建和开放研究网络合理共享成果等，都为阿斯麦发展核心技术奠定了重要的基础。

这个问题很有趣，实际上网上有很多报道，荷兰的ASML前身是飞利浦的光刻机研发部门，飞利浦是荷兰企业，所以，ASML就设在荷兰。

ASML独立之后，它的主要对手，是美国、日本的企业，尤其是日本尼康很厉害（另外，德国、中国都有企业生产光刻机，德国、韩国企业也有企业不生产但掌握大量相关专利，例如德国蔡司、韩国海力士）。在竞争过程中，尼康犯了一个错误，就是什么都自己搞（貌似日本企业的通病，喜欢搞大而全。），结果搞出的东西不成熟。ASML则不同，它走的是整合路线，它买美国的光源、德国的镜头，可以说，90%的部件来自外购，光刻机性能很快就后来居上了。

那么，为什么ASML能买到所需要的部件呢？这跟一个规定有关，那就是优先为股东提供设备，所以，世界上著名半导体企业，几乎都成为ASML的股东，都会给它技术支持，著名股东如英特尔、三星、台积电等，当然，中国大陆企业除外。

此外，这家公司的股东还包括一些大的财团，尤其是美国的摩根、德国的德银等等，总体而言，这家企业的主要控股者，还是美国、荷兰、德国的企业或财团，所以，其实是欧美共同扶持造就了这家企业。

既然技术上可以卡脖子，股份上可以影响其决策，美国根本不怕ASML敢动什么小心思，据说，美国曾经给ASML施压，要这家公司不得雇佣中国人，这家公司最后也没办法，只能照办。此外，美国在荷兰有驻军，对荷兰的影响力很大，前几天，荷兰还发表了一个文件，要不轻信中国云云，

中国光刻机现在是90纳米制程，这个光刻机指的是投影式的，可以大规模生产芯片的光刻机，而非近来宣传很火的那几款直写式光刻机，不过，中国已经研发出32纳米的EUV曝光系统，以及65纳米的双工台，可以预见，未来几年，中国可以量产65纳米，甚至32纳米的光刻机。

光刻机是什么？

光刻机是生产大规模集成电路的核心设备，可以说没有光刻机就无法生产出芯片。不过光刻机的制造和维护需要高度的光学和电子工业基础，因此世界上只有少数厂家掌握。这也使得光刻机的价格昂贵，根据性能的高低，通常价格在3千万至5亿美元之间。目前世界上主要的光刻机企业有荷兰的ASML，日本的尼康、佳能，其中技术实力最为强悍的为荷兰的ASML公司。

ASML公司

ASML成立于1984年，它的前身为飞利浦公司，ASML是由飞利浦与ASMI合资成立，所以其总部位于荷兰。ASML唯一产品类型就是集成电路制造环节中最核心的设备——光刻机。其在光刻机领域的地位是什么呢？比高通在芯片领域的地位还高，从2011-2017年，其全球出货比重都基本在60%以上，这就是为什么2018年ASML公司厂区发生火灾会引起全世界的关注。

为什么不是诞生在美国？

ASML虽然不是在美国，但是其背后却有着美国的背影，也是因为这个原因，在2018年之前ASML从不向大陆出口高端的光刻机，2018年的时候ASML正式澄清要进口到中国大论没问题，据传大陆定了2台，2019交付（一台7200万美元，一台1.2亿美元）。之所以愿意出口这一方面是我们现在有上海微电子装备这家光刻机企业在努力，也取得一定的技术进步，另一方面是大陆的市场原因。

ASML虽然说是荷兰企业，但是其背后的大股东确是（美国）的英特尔公司、韩国三星、我国台湾的台积电、美国摩根集团、德国的德银等，所以更严格的来说它是欧美及其小弟的联合体。

也正是这样，ASML才能走到第一，因为光刻机是重资金重技术的企业，单靠一家企业纯研发是很有难度的，举个最简单的例子，在2007年之前，ASML与尼康和佳能不相上下，甚至尼康还一度占有优势。随着ASML引入的众多股东，吸收及整合了更多的关键技术如美国的光源技术，德国的镜头技术等等（如果不是背后的众多股东搭桥牵线，要想整合全部技术，根本不可能），当然这也与ASML的政策有关，产品优先供应股东，所以三星、台积电这些半导体企业才会纷纷入股并密切配合，比如最先进的7纳米光刻机就是台积电配合下生产出来的。相反的日本的尼康就是什么都自己搞（这貌似日本企业的通病，喜欢搞大而全），最终被反超。

因此ASML虽然不在美国，但其实它的背后就是美国人在控制着，而且不把该企业放在美国还有一大好处，就是避免了美国有反垄断法，这家企业放在美国，肯定违背反垄断法，必须拆分为2家，一则增加了技术外流的可能，再者人才和资金的分散可能会导致研发速度下降，甚至恶意竞争，导致被其他企业反超。此外美国在荷兰有驻军，对荷兰的影响力很大，根本不怕ASML不听话。

上述或许就是光刻机最先进的企业没在美国而在荷兰的原因。

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①出身问题

ASML当初是飞利浦的，飞利浦本身是荷兰的，所以它在荷兰也是正常的事情。当初飞利浦的经营遇到困难了，光刻设备研发小组足够的经费都不能保证，后来就独立出去了。独立出去之后跟ASMI合并，成为了ASML。

人家本来是荷兰的企业，当然留在荷兰，没有必要乱跑。

②资金问题

ASML当初独立出去了还是不够钱，然后找荷兰政府投资。荷兰政府虽然给了不多，但是好歹支持了，还给了政策扶持。你拿了别人的投资就像乱跑？荷兰让你乱跑？而且这中高端设备环境污染不大，但是需要大量高端人才，是相当优质的企业，不会让你乱跑。

同样也是资金问题，让欧美没有办法再弄一个ASML出来。英特尔、台积电、三星等彼此竞争的三大巨头，联合给了ASML41亿、8.38亿、5.03亿欧元，他们以23%的股权共筹得53亿欧元资金。然后ASML还弄了很多资源共享和技术共享，才降低了很多成本。

EUV这个技术本来是要来源于美国的“星战计划”。波长仅有十三nm的EUV，难度太高，研发成本成本太高，比计划推迟了好几年都无法上市使用。日本的Nikon和佳能，都已放弃开发。ASML已经是全村人的希望了！

你要其他国家再弄一个出来，代价太高了。此前英特尔也扶持过尼康，但是就是做不出来。

而且，高端的光刻机竞争过于激烈，就会亏本了......需要合理控制数量

③全球化问题

ASML发展刚好是全球化的体现。因为它很多的零部件都是从海外买过来的，最重要的光刻设备是委托德国的蔡司做的。

欧美巨头都投资了ASML，所以他们也不担心这个问题，投资就行了。没有必要把好几年的利润投进去冒风险做自己不熟悉的事情。

同样，光刻机只不过是半导体的一部分，美国没有必要全部都自己做。而且自己还掌握了不少ASML的股份。

这个简单的问题，高精度光刻机技术使研发应用电子设备控制电路体积更加细小、高效、节能、成本更加降低，在民用、国防均有重大作用，总不能将一个机房体积大小的控制电路装到手机或导弹上吧，所以电子产品电路集成越来越小的芯片，是未来社会发展必需。集成电路芯片晶圆基片上通过光刻机将大量数百亿个晶体管、电阻器、电容器、二级管等电子元件刻在芯片上，并不是为了好看，而是真的有科技技术含量。我们中国目前国内设备最高精度可以28、14nm纳米，荷兰公司生产的光刻机目前是7nm纳米并且在研发5nm纳米的技术。我们是研发了光蚀机后，美国才解禁荷兰公司向中国大陆的售卖。台积电为什么可以购买大量何兰生产的7nm纳米光刻机，因为台积电是台湾企业，不是中国大陆企业，本身就有美国支持，可以无限制购买。

再说说为什么产地是荷兰而不是美国本土，因为荷兰属于美国领导下的北约成员国，是美国的小弟，也就没有必要搬回美国生产。如果荷兰是苏联领导下的华约成员国，相信美国会直接打垮荷兰，并将高精度光刻机技术资料及工程师抢运到美国本土研发和生产。并且芯片光刻机并不涉及集成电路芯片设计用途，美国限制荷兰芯片光刻机销售中国目的只是美国限制中国大陆发展必须落后于美国的战略意图，从而使中国的发展必须依赖美国，而不是要把中国大陆搞得像美国敌对苏联一样，所以技术一但突破，立即就解禁。

芯片对于现代社会的重要性已经不言而喻了。他是整个精密仪器的心脏和大脑，没有它这架仪器就运转不了。在制造芯片的过程中，有一种机器是不可或缺的，就是大名鼎鼎的光刻机。（光刻的工作原理）

光刻，就是一半导体晶片表面的掩蔽物（如二氧化硅）进行开孔，以便进行杂质的定义，扩散的一种加工技术。原理很简单，但是技术很复杂。距今为止，全球没有多少个国家掌握了光科技术。

其中技术最牛的，属于荷兰ASML公司。另外日本的佳能和尼康，光刻机技术也相当成熟，但是和ASML也比起来还是稍逊一筹。ASML公司占有全球80%左右的市场份额，年营收超过百亿欧元，它的客户包括英特尔、三星、台积电、海力士、中心国际。

一台高端光刻机售价可达1.2亿美元，比一架F35战斗机的价格还高。F35战机目前价格已经跌破9000万美元。

荷兰并不是科技非常发达的国家，至少和美国，日本德国比起来还是有差距的。你们在光科技领域，荷兰能够领全球风骚呢？反倒是硅谷没有这方面的巨头？

其实虽然ASML公司创立于荷兰，但是它重要的技术来源，确实来自于美国。2007年，ASML公司收购美国睿初科技。睿初科技是一家美国硅谷的高科技公司，在光刻方面有很多专利，在同行业中处于领跑地位。

2013年ASML又完成对美国Cymer公司的收购。也是一家在光刻领域非常牛逼的公司，1986年就进入了半导体产业。为了收购这家公司，ASML也花了将近20亿欧元。

所以说虽然asml公司是荷兰的，但背后技术提供者却是美国。

似应该这样说：其实，是最好光刻机的“整机”来自荷兰，荷兰这个小国算得上光刻机制造“大国”，却算不上强国，只能算得上光刻机整机集成强国，ASML的技术在世界上最好的光刻机中仅占10%嘛，重要的是主要的关键技术/零部件都来自外国；美国不仅是芯片的“大国”，而且是强国，并且是最强国，包括最好光刻机的最关键技术/零部件就来自美国。

荷兰做到造出最好的光刻机显然并不主要依靠自己。ASML在整机集成上显然具有最好的优势，得益于自己开展的自主研发和荷兰国的大力支持，这样的优势、研发、支持是其他国家没有具备、没有进行、没有给予的，做到了这些之后，荷兰才被其他国家视为当时最为合适、未来最有前途的光刻机整机集成国家。但，主要依靠的是多个国家，特别是美国，连最重要的光刻机制造新技术路线或者叫另辟蹊径的机会也是主要由美国“赐予”的，这缘于更让美国及其他国家信任，荷兰也的确用行动证明了自己的可信任，何况向来就跟美国及其他国家关系亲近、亲密，关键是过往没有成为芯片大国，现实则表明未来难以成为，美国“认为”不会威胁到自己的芯片强国地位，所以包括美国在内的其他国家才甘愿作为部件供应国，还成为了投资国呢，从而使得ASML后来居上，击败了由于先发而造出当时最好光刻机的日本尼康。可以说尼康绝非主要因为自己而落后于ASML，而是因为自己国家的芯片业被美国及其他国家放弃支持或者叫担心再度强大起来。

最重要的是关于光刻机制造的“布局”。美国芯片业的综合实力、整体能力是包括荷兰在内的其他国家都比不上的，而在光刻机制造上，荷兰及其他国家不过在某一个方面才是强的，所掌握的关键技术倒是彼此不同，把美国的那个方面加进来，涵盖了光刻机整机所包含的全部关键技术。这是一种事实上的“主导+分工+合作”的格局，历史悠久，基于由各个相关国组成的光刻机制造国家联盟早早做出的布局，布局则基于合力发展出最好光刻机的共同意愿，最好的光刻机便集成了各自所具有的某一方面技术能力，主要是基于哪个国的意愿？肯定是美国，本就是其他国家的长期老大，何况美国那个方面的光刻机技术能力最为关键。正是由于美国为“芯片最强国+光刻机部件最关键技术拥有国”，美国才成为了国家联盟中的主导国，荷兰才在光刻机上受控于美国。当然，这个布局一开始是“自然”形成的，是各个相关国家自我自发努力的结果，后来变成了“人为”的，即美国牵头“优化”了自然形成的布局，包括扶植了荷兰、淘汰了日本，还对中国断供了零部件，致上海微电子研制的90纳米光刻机停留在样机状态，依靠我们国内部件“供应商”长达 9 年的自行研制才得以量产，倒是从此摆脱了依赖于人的局面。