在半导体材料领域,日本领先地位明显,牢牢卡住全球芯片产业的脖子。尤其是在氟化氢、氢氟酸领域,日本更是实现了高度垄断。
氢氟酸是半导体制造所需的关键材料,主要用于清洗晶圆表面、清洗和刻蚀等步骤。在电子级氢氟酸的基础上,可加工出电子级氟化氢。
氟化氢同样芯片制造所需的关键材料,但制造技术难度更大,在半导体基板切割、去除膜沉积后粘附在化学气相沉积炉内的不必要化学物质等方面有重要发挥,应用十分广泛。
在电子级氢氟酸领域,中国企业的产品质量偏低,且产能利用率较低。反观日本,日本已经成为全球最大的氟化氢供应国,其产品纯度最高、价格便宜,产能也相当亮眼,几乎俘获了大多数半导体制造企业的心。
在电子级氟化氢领域,我国更是对日本、美欧等高度依赖。这使得我国在氢氟酸、氟化氢领域受制于人,于我国芯片产业安全不利。
2019年7月,日本对韩国氟化氢等半导体原材料发起限制,致使日本半导体企业产能受挫,引发了不小的危机。
这一事件给中国企业以不小的警醒,中国必须尽快补足在氢氟酸、氟化氢上的短板,不能重蹈韩国覆辙。
在多年的努力中,我国已有天赐材料、巨化股份、三美股份等中国氢氟酸领先企业,松动了日本垄断氢氟酸市场的格局。
其中,巨化股份的表现尤为优异,能帮助1nm芯片实现量产。
据巨化股份在互动平台上透露的信息显示,巨化股份是我国首家量产并供应1x纳米制程所需电子级氢氟酸的企业。同时,巨化股份还是我国首家同时具备氯气、氯化氢、氟化氢等刻蚀清洗用电子气体产业化能力的企业。
如今,巨化股份已经在高纯度电子气体领域,成功跻身全球领先企业。巨化股份为我国打破日本企业垄断,作出了重要贡献。
在更高难度的高纯度氟化氢领域,我国也有突围的希望,我国并非没有制造该材料的能力。
但是,我国在这一领域起步较晚,而且高纯度氟化氢对技术与工艺有颇高的要求,因此,我国想要在这一领域实现突破还要假以时日。
不过,随着我国对半导体产业重视程度的不断提升,相信我国在氢氟酸、氟化氢领域,还将迎来更多的突破。
文/BU 审核/子扬 校正/知秋
页面更新:2024-03-28
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