硬核攻关斩获国家科技进步一等奖，浦东企业以精准标尺为“中国芯”筑牢精度根基

近期，国家科学技术奖励大会在人民大会堂隆重召开。由同济大学牵头、上海市计量测试技术研究院有限公司（简称“上检计量”）联合5家单位共同完成的“量子化光晶格常数的纳米计量关键技术及集成电路应用”项目，荣获国家科技进步一等奖。这项历时二十余年打磨的0.001纳米级计量核心技术，补齐我国先进芯片制造高精度测量短板，为集成电路产业自主可控发展提供关键支撑。

纳米计量是先进制程制造的核心命脉，芯片、新材料、高端装备等产业全部依赖极致精准的尺度测量。传统纳米量值传递采用多级逐层校准模式，从国家基准到工厂产线层层流转，每一级传递都会叠加误差，越先进的芯片工艺，越难以规避精度损耗，长期制约国内高端半导体产业发展。

自2025年落户浦东，上检计量始终锚定前沿方向，创新研发量子化光晶格常数纳米计量新技术，依托量子化光晶格方法，让原子依据恒定自然常数自主排布形成标准刻度，不存在机械磨损、设备漂移问题，可长期保持超高测量精度，彻底改变传统“多级接力”的溯源模式，实现量值传递一步直达产业现场。

上检计量自研超稳制造装置，研发系列光栅产品，成功获批5项国家一级标准物质。经实测，纳米长度标准物质三年长期稳定性、样品一致性均达到皮米（0.001纳米）量级，达到国际领先水准；国内首次建立纳米尺度角度标准物质，角度绝对准确度达0.001量级，精度相当于将一块蛋糕均分三十六万份，为集成电路光刻、刻蚀等核心工序提供权威校准依据。

此国家级奖项落地浦东，是浦东质量基础设施赋能硬核产业的重要成果。近年来，浦东新区市场监管局围绕认证认可检验检测促进产业高质量发展，持续发挥社会主义现代化建设引领区制度优势，做强集成电路、生物医药、人工智能等领域国家级质检中心、产业计量测试中心矩阵，深化检验检测认证、计量标准专业服务业培育，推动更多自主可控、国际领先的核心技术成果转化落地，以科技创新扎实支撑科技强国与中国式现代化建设。

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