打造中国的“ASML”和“东电”，扬威国产半导体设备

“ 经过几代人的努力，特别是从‘02专项’实施以来，我国半导体装备已经实现了从无到有、由弱到强的巨大转变，在刻蚀机、磁控溅射、离子注入机、CVD以及清洗机等领域实现了重大突破，总体技术水平达到28nm，多种14nm-10nm关键设备进入了客户生产线。

进入2020年以来，虽有疫情的影响，全行业前行的脚步却并未放慢。在火热的市场氛围带动和即将到来的大基金二期的引领之下，国产半导体装备全面爆发已进入倒计时。

集微网举办的第六期芯力量云路演，邀请了梧桐树资本副总裁毛示旻作为点评嘉宾，以下文字是线上路演的活动内容整理。”

本期【芯力量云路演】重点关注半导体国产装备，吸引了众多投资人的热情参与，尤其是很多首次参会的“新面孔”。据统计，本期新增投资机构为72家，新增机构占比达到了30%。

参会人员的整体水平也很高，共有实名认证的317人参会，其中投资机构高管占到了24.6%，投资机构经理/总监占50.1%，企业高管为7.9%。

本期路演展示了4个国产半导体装备项目：无锡华瑛微电子技术有限公司动态薄层晶圆表面化学处理技术与设备(DTL)，芯米（厦门）半导体设备有限公司的光刻工序涂胶显影设备开发及制造，江苏中科新源半导体科技有限公司的半导体直冷机，上海众鸿半导体设备有限公司的半导体芯片制造光刻工艺【涂胶显影设备】。

从最后选票回馈的信息来看，本期共回收有效问卷数61份，其中无锡华瑛微获得意向选票 26 张；芯米获得21张；中科新源获得37张 ；众鸿获得25张。接下来，集微网将为每个项目安排下一轮的封闭式交流。

半导体装备行业有很高的门槛，而为本期进行点评的嘉宾也都有丰富的产业经验，他们是：浦东科投合伙人陈克禄、梧桐树资本副总裁毛示旻、高捷资本投资副总裁邢凯。

仔细了解4个项目的情况后，嘉宾们给出了精彩的点评。

01

无锡华瑛首创的“动态薄层晶圆表面化学处理技术和设备”

毛示旻认为，华瑛团队承接02专项，研发的新的DTL清洗技术及创新的一体式清洗机具有高定制化特性，节省了设备尺寸且提高了清洗效率，缩短了清洗时间，技术在下游厂商验证后将极具竞争力。

邢凯认为，基于自主的动态薄层技术，华瑛的单晶圆清洗设备将取代传统的批量清洗方案，为中国广泛的新老工艺线助力。更难能可贵的是，公司基于晶圆预处理技术平台，未来将有机会集成后道工艺设备，完成产品延展。

02

芯米的涂胶/显影机填补了国内空白

毛示旻认为，芯米公司团队有多年业界经验，在台湾跟TSMC等大厂有过深入合作；产品技术直接从台湾导入，以LED产业为首先关注领域，未来可以拓展到IC领域。

邢凯认为，基于其创始团队在台湾多年的技术积累和大厂服务经验，公司在中空主轴马达、管状隔膜泵等核心部件上形成了高壁垒，可以为下游客户提供高度客制化的涂胶显影和单片式湿法设备。

03

中科新源的半导体直冷机已经进入国际与国内的一流晶圆厂应用

毛示旻认为，中科新源是半导体精确控温的解决方案提供者，已经进入了半导体及5G下游客户，技术及团队有很好的水平。作为国产核心部件的重要国产替代玩家，有巨大的发展潜力。

邢凯认为，该公司革命性地将PN结材料的能量转换技术转化为控温方案，将在体积、精度、环保型等多方面赋能产业。市场应用的广泛度是公司的另一大亮点，特别是在5G宏基站和光模块领域，将为通信基础设施的稳定运营保驾护航。

04

众鸿半导体集中全力进行自主品牌涂胶显影设备研发

毛示旻的点评是：该公司从二手维修开始起步进入设备领域，找准了涂胶机市场中的特殊机会和国外厂商的空档期进行布局，未来有可能通过产品的下游应用逐步提升技术水平，是涂胶显影设备的一匹黑马。

邢凯认为，对标东京电子，该公司几年时间逐渐完成从二手设备改装到自主产品研发的过渡，在未来增长空间更大的化合物半导体和MEMS工艺设备发力。看好公司未来在12寸相关设备布局。

参加路演的4个项目展示了很高的技术水平，说明了半导体设备的国产化已经势不可挡，我国在半导体制造上的超越将指日可待。

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