清北毕业生去哪里了？他发明了美国2000瓦EUV光刻机光源核心技术

编者按：在调研下一代基于小型加速器的EUV光刻机光源技术的时候，我遇见了两个人，他们在美国同样的地方留过学，先后50年，均在美国的同一加速器实验室取得卓越的成就。

1955年，一位中国科学家，冲破美国封锁，离开美国斯坦福国家加速器实验室，回国开拓了我国粒子加速器事业，并主持建造我国第一个高能物理对撞机，在56年后获得国家最高科学技术奖。

1989年，一位华裔科学家， 前往美国留学，后加入美国斯坦福国家加速器实验室，他的发明让美国在高功率EUV光源这一技术领域领先中国至少20年，并领导开创了美国高能自由电子激光装置。

他们各自又有着怎样的人生轨迹和交集？

他们的个人轨迹又如何反映了过去100年我们的国运？

大事记

1920年，101年前，谢家麟出生于黑龙江省哈尔滨市。

1943年，谢家麟毕业于燕京大学物理系。

1951年，谢家麟获美国斯坦福大学博士学位，回国途中受阻，被迫返回美国。

1955年，谢家麟冲破重重阻力回到祖国，自力更生，参与开拓了我国粒子加速器事业，为我国高能粒子加速器从无到有并跻身世界前沿起到了至关重要的作用。

1955年，归国留学生谢家麟与妻子范绪篯、大儿子谢亚宁在家中接受人民画报记者专访时拍摄的照片

1978年：谢家麟带领中国科学家访问美国，并和美国商讨合作建设中国高能物理加速器装置。

1978年，谢家麟（右四）率高能加速器设计考察组访问美国费米国家实验室，升起中国国旗后合影留念。

1979年：谢家麟的同事，北大理论物理学家，也就是下文主角--黄志戎博士的父亲，作为中美高能物理合作的代表，前往美国斯坦福加速器实验室从事访问研究。

黄志戎的父亲回国后，鼓励黄志戎赴美留学。

然而，赴美前黄志戎必须在北京大学学习证明自己的能力。

黄志戎在2014年接受采访时的自述

1987年：黄志戎入读北京大学物理系本科。

1989年：黄志戎赴美国加州理工大学，攻读物理系学士学位。

1992年：黄志戎本科毕业，前往美国斯坦福大学攻读加速器物理博士。

1998年：黄志戎以第一作者和导师Ronald Ruth共同发表紧凑型加速器论文，并发表专利。

1998年黄志戎发表在美国物理学会会志的紧凑型加速器论文

2002年：黄志戎的导师Ronald Ruth以此技术创立Lyncean公司，开发小型紧凑型加速器。

美国Lyncean的小型紧凑型加速器光源

2014年：黄志戎因在美国国家加速器中心自由电子激光LCLS项目的贡献获得2014年度国际自由电子激光奖。

2014年，北京大学报道北大校友黄志戎获奖

2018年：Lyncean发表基于2000瓦紧凑型加速器EUV光源专利。

Lyncean公布千瓦级紧凑型加速器EUV光源，并与自由电子激光装置性能做了对比

2019年：美国对华为发动制裁。

2020年：黄志戎升为斯坦福大学正教授。

2020年黄志戎升为美国斯坦福大学正教授

2020年：美国对中国禁运EUV光刻机。

2021年：美国EUV光源厂商Lyncean公开2000瓦EUV光源设计进展，完成度95%。

2021年Lyncean公开两座2000瓦EUV光源设计图。

后记

科学无国界，但科学家有自己的祖国。

这是一句老话，很多人为此争议。

许多朋友可能没有看过我之前写的很多中国EUV光源的调研的帖子，不太理解2000瓦EUV光源的战略意义。

我不否认黄志戎博士的卓越的学术成就和在加速器研究领域的贡献。也许就像大多数人说的一样--在当下的环境，黄志戎博士即便回国，也不一定有条件和机会做出类似的成就。

然而，50年代，多少仁人志士不为名不为利，在中国一穷二白的时候回国建设国家、实现技术报国的理想？很多国人，喜欢用中国人的精神支柱--两弹一星的这一成就来类比我们的光刻机的研发，可是多少人了解以及思考过，两弹一星是多少这样不为名、不为利的中国脊梁的舍命付出换来的。他们哪一位是国家高薪引进才回来的呢？

每一个科研工作者的贡献都有可能决定了我们某一个环节的成败，而成千上万的科研工作者的方向有可能决定了我们的国运。

1955年，谢家麟突破美国封锁，回国从事加速器研究。

1988年，已过花甲之年的谢家麟主持建造中国首台高能物理对撞机。

2012年，为国家奋斗一生，90高龄的谢家麟荣获2011年度国家最高科学技术奖。

2011年12月，时隔56年，谢家麟再次接受人民画报记者专访，与妻子范绪篯、大儿子谢亚宁在北京家中拍摄的照片

注：美国紧凑型加速器企业Lyncean的2000瓦EUV光刻光源详情，请参考

英特尔投资的企业获得重大突破！千瓦级EUV光刻机光源已经完成95%

原创2021-08-03 18:38·Jim博士

12米*5米的紧凑型加速器千瓦级EUV光源装置。光功率可达2100瓦。左侧人形是尺寸对比图。

参考资料：

中国高能加速器历史：http://www.imp.cas.cn/xwzx/kjsy/201201/t20120116_3428118.html

谢家麟院士自述：https://zhuanlan.zhihu.com/p/20587957#!

SLAC国家加速器实验室关于黄志戎获奖的新闻链接：https://www6.slac.stanford.edu/news/2014-09-11-slac-scientists-win-prizes-x-ray-laser-work.aspx

黄志戎教授的个人主页：http://www.slac.stanford.edu/~zrh/

北京大学关于杰出校友黄志戎教授的新闻链接：https://www.phy.pku.edu.cn/info/1179/2659.htm

SLAC国家加速器实验室对黄志戎教授的专访：https://www6.slac.stanford.edu/news/2014-02-19-physics-and-common-goal-zhirong-huangs-road-success-slac.aspx#:~:text=Physics%20and%20a%20Common%20Goal%3A%20Zhirong%20Huang%27s%20Road,the%20design%20of%20particle%20accelerators%20and%20free-electron%20lasers