真空系统设计（真空动密封连接）

真空系统是指由真空泵、真空计及各种零件通过管道以适当的方式联接，组合成能达到一定真空度要求的装置。真空系统的基本要求是都有哪些？

3.5 真空动密封连接

3.5.2接触式动密封连接

在接触式动密封中，根据采用的密时物质可分为固体密封和液体密封两种形式。

3.5.2.1真空橡胶圈动密封连接

常见的橡胶密封结构形式为0型、J型和JO型，其原理是把孔径小于轴颈的密封圈紧套在轴上，并依靠过盈和抽气时产生的压差使其紧贴于轴上，以达到可靠的密封。

该密封形式适用于外部为大气压力、真空室内压力高于1 x10-4Pa的真空机械设备的旋转轴密封。0型、J型和JO型橡胶密封圈的工作温度为-25~80C，在规定的温度下密封结构旋转轴的旋转线速度应低于2m/s、转速低于2000r/ min。

A O型橡胶密封圈的动密封结构

O型橡胶密封圈的密封结构又称橡胶填料盒式密封装置，如图3-119所示。这种密封适用于传递在规定的温度下，真空室内压力值不低于1.3x10-4Pa,往复运动速度低于0.2m/s的直线运动。当传递直线往复运动的距离较长时，通常在孔壁上开密封槽。0型密封圈动密封结构还可以用来密封转速小于1000r/ min旋转运动轴，其转轴直径的范围应在φ3~200mm之间。

图3-119 0 型密封圈动密封连接结构

1-0型密封圈; 2-密封压套; 3-垫圈; 4一压紧螺母

0型密封圈工作时需要润滑，其润滑介质可用机械真空泵油、扩散泵油或真空润滑脂。采用0型密封圈结构的真空设备如需在充保护气体情况下工作时，其保护气体压力不应高于5x 10*Pa。

B J型橡胶密封圈的动密封结构

J型橡胶密封圈的动密封结构又称威尔逊密封装置，其密封结构如图3- 120所示。J型真空橡胶密封圈的形式如图3-121所示。它的密封原理是利用安装后中央凸起并紧箍在旋转轴上呈现锥形的橡胶垫圈进行密封，当真空室内部达到真空时，外部大气压力即可把橡胶密

图3-120J型密封圈动密封连接结构

1一J型密封圈; 2-紧固压盖; 3-密封座;4-密封压套; 5-转轴; 6-垫圈

图3-121 J 型橡胶密封圈

封圈紧紧压在转轴上从而达到真空密封的目的。密封结构中各零件的表面粗糙度为:密封面粗糙度为1. 6pum,其他面的粗糙度为3. 2μum,转轴密封表面粗糙度为0.8μm。如果在J型密封圈密封结构中采用螺母压紧，在螺母与橡胶密封圈之间应装有金属垫圈。

J型密封圈密封除了能传递圆周旋转运动的密封外，还能传递低速直线往复运动。J型真空橡胶密封圈工作表面应平整光滑，不允许有气泡杂质、凹凸不平等缺陷。J型密封圈工作时需要润滑，其润滑介质可用机械真空泵油、扩散泵油或真空润滑脂。采用J型密封圈结构的真空设备如需在充保护气体情况下工作时，其保护气体压力不应高于5 x10*Pa。

C JO型橡胶密封圈的动密封结构

JO型橡胶密封圈动密封结构如图3-122所示，J0型真空橡胶密封圈的形式如图3-123所示。这种带锁紧弹簧的结构是在J型橡胶密封圈结构的基础上经过改进而制成的，它的密封面的面积大，密封效果更好，但是密封圈与转轴之间的摩擦力也较大，适合于圆周旋转运动的密封。如果在JO型橡胶密封圈密封结构中采用螺母压紧，在螺母与橡胶密封圈之间应装有金属垫圈。

图3-124骨架 型密封圈动密封结构

图3.125骨架型真空橡胶密封圈