真空系统设计（真空动密封连接）

真空系统是指由真空泵、真空计及各种零件通过管道以适当的方式联接，组合成能达到一定真空度要求的装置。真空系统的基本要求是都有哪些？

3.5 真空动密封连接

3.5.1概述

真空动密封连接主要用于向真空室中传递各种运动，以实现真空室中机构的运动，满足所进行的工艺过程的需要。这种密封除了要求连接结构本身有足够的强度、寿命和合理的外形尺寸，能向真空室中传递运动外，还要能保证其真空密封的可靠性，即动密封连接必须在长期工作中保证外界环境不向真空容器内漏气或使漏气维持在设计要求的范围之内。

真空设备中的动密封连接结构很多，如真空阀门的开启与关闭:真空熔炼炉、真空热处理炉的送料、拉锭、浇注等机构的传动;真空镀膜设备中工件架的转动、基片的取放等。动密封结构传递的运动形式-般有以下几种: (1)传动轴的转动; (2) 传动轴的往复直线运动: (3)传动轴的摆动: (4) 包括以上三种运动形式的复合运动。

真空动密封连接分类如表3-35所示。

表3-35真 空动密封连接的分类

在选择运动传导密封形式时，应注意下列事项:

(1) 从动密封处产生的气体量对真空室中工作压力的影响。此气体量包括动密封处的漏气、密封元件表面放气、高温下薄壁零件(波纹管)的渗谢。

(2) 在真空室工作温度范围内，动密封元件能否正常工作。

(3) 传递运动形式(直线、旋转、摆动)及传动精度。

(4) 真空中从动部件的最大速度、位移以及密封轴的转速。

(5) 使用方便，易更换易损零件，工艺性好，成本低。