真空系统设计（金属柔性动连接密封）

真空系统是指由真空泵、真空计及各种零件通过管道以适当的方式联接，组合成能达到一定真空度要求的装置。真空系统的基本要求是都有哪些？

3.5.4.2金属柔性动连接密封

在金属柔性动连接密封中，采用金属波纹管密封实现向真空中传递直线运动、摆动和旋转运动。金属波纹管是用金属制成的薄壁褶皱软管，富有弹性，易于弯曲与伸缩。波纹管由薄壁管用模具液压加工制成，其结构形式见图3- 156,波纹管也可用环状薄片逐片焊接而成，其结构形式见图3-157。对于前者，原材料可采用延展性好的金属材料，如黄铜、锡磷青铜或破青铜等;对于后者，可采用易于焊艳的金属材料，如不锈钢、镍合金等。焊接波纹管与压制波纹管相比，在轴向力、横向力和弯距作用下能产生较大的位移。应当注意的是，波纹管只能作伸缩和弯曲变形，不能承受扭转变形。由于金属波纹管能够同高真空装置的其他元件一起进行高温除气，所以可以用于向直空度为10--Pa的真空容器中传递运动。

图3-155采用橡胶薄膜密封的结构

1一主动轴; 2-圆盘; 3-小球; 4-支持架; 5-从动轴; 6-垫圈; 7-隔板

图3-156金属波纹管

图3-157焊接波纹管

图3- 158所示是金属波纹管用在低真空阀门中传递直线运动实现密封的例子。图中波纹管的一端焊在阀板上，另一端焊在法兰上，通过轴杆与阀板的螺纹连接将轴杆的旋转运动变为阀板的直线运动。

图3- 158低真空管道阀门

图3- 159所示是金属波纹管传递转动的密封形式。这两种密封形式与图3- 153所示的采用橡胶管传递旋转运动的密封结构原理类似，在工作中，金属波纹管随杆件的运动作摇动，在其上不承受扭矩的作用。

图3-159金 属波纹管传递转动的密封形式