真空系统设计（非接触式动密封连接）

真空系统是指由真空泵、真空计及各种零件通过管道以适当的方式联接，组合成能达到一定真空度要求的装置。真空系统的基本要求是都有哪些？

3.5.3非接触式动密 封连接

3.5.3.1 减压动密封连接

减压密封也称通道式真空动密时，其结构简图如图3.141所示。

图3-141减压真空动密封

I-高真空容器: II-附加容器

1-转轴; 2一间原密封;3-过渡真空抽气口

这种动密封形式借助于压差减压和真空动平衡原理，允许系统中存在微小的漏隙，是一种较为简单的向真空系统内传递运动的方法。

图中转轴1通过附加容器II伸到高真空容器I中。在附加容器的开口处3接人预抽真空泵对容器II进行抽真空，轴在附加容器人口处的密封要求不严，通常可采用标准式的密封结构。轴在通过附加容器和高真空容器之间不采用接触密封，而是在轴表面与高真空容器壁之间建立缝隙通道，使附加容器与高真空容器间具有非常小的流导。

如设该通道的流导为C,从附加容器漏人到高真空容器中的气流量为Q,则在平衡状态下，从高真空容器端抽走该漏气量所需的抽气速率S (密封抽速)为:

式中，PI为附加容器内的压力; P2为高真空容器内的压力。

从式中可看出，若高真空容器处于大气压包围之下，即pr=Ix10Pa,而且假设容器中p2需要抽到1.3x10 -3Pa的真空度时，则P1/P2-1≈1 x10"Pa, 显然此时若减小S,则必须尽量使C减小，这就需要尽量增加轴密封处对漏气的阻力，这样只有采用接触密封而使通道达到没有缝除。但是如果在通道外设减压室，用低真空环境代替大气压力，那么，S的减小就非常明显，这对动态真空系统来说是很方便的。

在一般情况下，要求密封抽速s与高真空容器所具有的出口抽气速率S。之比应不大于0.1，即: