湖北荆州-集成电路及光学用高性能石英玻璃项目可行性研究报告

1、项目概况

本项目依托企业自身生产的高纯石英锭，生产石英玻璃材料及制品。项目建成后，将形成新增年产 120 吨合成石英玻璃锭，加工制品后销售产品；新增年产 650 吨电熔石英玻璃锭。本项目总投资 30331 万元。

本项目由本公司实施，实施地点为位于湖北省荆州市的公司厂区内。

2、项目建设的可行性

（1）项目投资建设符合国家产业政策

本项目符合国家产业 政策，符合国家发改委《产业结构调整指导 目录（2011 年本）》（修订本）鼓励类第十二条第 8 款中“高纯石英原料、石英玻璃材料及其制品制造技术开发与生产”的规定；属于《增强制造业核心竞争力三年行动计划（2018-2020 年）》新材料关键技术产业化实施方案中无机非金属材料主要任务之一：高性能石英玻璃（光掩模石英玻璃基板、大尺寸高性能光学石英玻璃及无水石英玻璃）产品。

（2）项目投资建设适应公司持续发展的需要

公司目前的石英玻璃锭生产均以氢气为燃料（气熔石英材料），按原料不同分为天然和合成石英锭。气熔石英具有羟基含量高（天然石英锭羟基含量100-200ppm，合成石英锭羟基 800-1200ppm）的特点，导致加工后的产品软化点低于电熔石英制品，限制了其在半导体等领域中的应用：半导体在外延及扩散制程中，由于对温度要求较高，一般都使用低羟基的电熔石英制品。相比气炼石英材料，电熔石英材料耐温性更好，被广泛用于生产半导体芯片制造所需要的石英玻璃部件。此外，合成石英材料因为其纯度更高、光学性能更良等特性，更符合半导体制程对石英制品高纯、无污染、耐高温的要求，如光掩膜基板等，尤其是随着半导体产业微细化的发展，普通的天然石英材料已经无法满足高端生产工艺的要求，合成石英成为 7 纳米以下的半导体产品生产中的替代材料，目前世界上主要半导体设备商（日本东京电子公司、美国应用材料公司、美国 Lam 公司等）均开始使用合成石英作为主要石英耗材，合成石英材料市场前景看好。

另一方面，本项目的建设实施可拓宽公司的产品线（增加电熔石英材料及制品），一定程度改善目前公司对氢气的依赖，降低氢气供应对公司生产的可能造成的不确定性影响。

3、项目建设的必要性

（1）项目投资建设是我国高新技术产业发展的需要

石英玻璃属特种工业玻璃，是服务高新技术产业的重要新材料，在国民经济和国防建设中起着非常重要的作用，特别是对半导体、集成电路、平板显示、新型电光源、激光技术、航空航天以及核技术等高科技领域的发展至关重要。我国石英玻璃制造技术在许多方面虽然取得了突破性成绩，但距离世界先进水平仍有相当大的差距。

随着全球信息化、网络化、智能化的发展趋势，半导体集成电路产业的地位越来越重要，已成为事关国民经济、国防建设、人民生活和信息安全的基础性、战略性产业。近年来，全球半导体产业持续增长，已成为最具活力的科技创新领域和推动世界经济增长的引擎之一。世界半导体制造业重心逐渐向中国转移，极大地推动了我国半导体制造业的迅速发展。高性能石英玻璃材料及制品，作为半导体产业生产的重要耗材，有着巨大的市场需求，为我国的石英玻璃产业提供了巨大的发展机遇和发展空间。

迅速提高工艺技术和装备水平、自主研发和创新能力，开发高性能的石英玻璃材料及器件，提升产品档次，对于快速推进我国石英玻璃产业的纵深发展，形成集技术研发、装备升级和产品生产为一体化的产业系统，促进我国半导体产业良性发展，具有十分重要的战略意义。

（2）项目投资建设是关键石英材料替代进口的需要

半导体产业链的参与者包括材料生产商、制品加工商、半导体设备商、终端晶圆厂商。石英材料生产商将材料销售给石英制品加工商，石英制品加工商将产品销售给晶圆厂商。石英玻璃制品是晶圆厂商用在半导体制造设备中的耗材，国际主要半导体设备制造商对于其设备上使用的石英制品有严格的筛选标准，且在产业链中拥有强势话语权。不管是石英材料还是制品均需通过设备商的认证，才能成为产业链当中的一环。

半导体用石英玻璃产业链

在石英玻璃材料制造方面，国外石英玻璃生产集中在少数跨国公司，其控制的主要市场是集成电路先进制程、光导纤维、光学及军工用高端合成石英玻璃制品，生产工艺技术和装备复杂。国外仅有德、美、日等少数发达国家掌握，始终保持技术优势地位，控制着全球市场，且在国内没有生产基地，也不转让其技术及其装备。国内现有的石英玻璃产品多数仅能满足低端需求，半导体、微电子工业以及神光系列所需的高性能合成石英玻璃材料几乎依赖进口，价格相对较高，严重制约了我国半导体行业以及尖端国防技术的发展。

因此，本项目的投资建设可替代进口，对于促进我国集成电路及国防科技产业发展具有十分重要的意义。

（3）项目投资建设是促进区域经济发展需要

湖北省政府在《湖北省国民经济和社会发展第十三个五年规划纲要》提出：要重点发展高性能新材料，要加快新材料的研制；努力将无机非金属新材料等领域的科技优势转化成产业优势；支持有特色的新材料产业园区建设，初步建成全国重要的新材料产业基地之一。

公司拥有荆州市开发区和潜江市两个生产基地，分别利用沙隆达公司和江汉油田盐化总厂生产的副产品（氢气）和当地化工企业的副产品四氯化硅作为其生产的燃料和原材料，大大降低了生产和运输成本，同时也解决了氢气对空排放和四氯化硅污染环境的安全隐患，符合绿色环保、资源综合利用的特点。

公司通过扩大规模，提升技术水平，从材料生产到初级加工，继续向石英玻璃产品纵深领域发展，不断降低生产成本，提升产品档次，将大大提高其产品的附加值，实现良好的经济效益。

4、投资概算

单位：万元

5、经济效益

本项目总投资为 30,331 万元，项目建成完全达产后公司预计年均新增销售收入超过 20,000 万元，年均新增净利润超过 4,000 万元，所得税前项目投资回收期约为 7 年（含建设期）。本项目实施后，将全方位提升公司可持续经营能力，并对公司的财务状况和经营成果产生积极影响。

6、本募投项目涉及的审批、备案事项

本项目拟在公司本部厂区实施，不涉及新取得土地。截至本报告出具之日，本项目已取得湖北省固定资产投资项目备案证（登记备案项目代码：2018-421004-30-03-054063）及荆州市环境保护局荆州经济技术开发区分局《关于湖北菲利华石英玻璃股份有限公司集成电路及光学用高性能石英玻璃项目环境影响报告表的审批意见》（荆开分环保审文[2018]71 号）。