打破美日垄断！中国企业制造出高端半导体设备，可生产5nm芯片

大家都知道，我国企业在芯片产业链上处于弱势地位，尤其是生产芯片的光刻机，严重依赖海外巨头ASML，中芯国际正因为没有EUV光刻机而无法量产7nm芯片。

然而在生产芯片的另一关键设备——刻蚀机领域，我国却有一家技术水平领先世界的半导体巨头。创始人在60岁花甲之年回国创业，经过十几年的努力，终于填补了我国在高端刻蚀机领域的空白，并打入台积电的供应链。

这家国产刻蚀机巨头就是中微半导体，根据中微半导体的公告，旗下最新的离子体刻蚀设备，已经进入5nm及以下芯片核心零部件的生产线中。

虽然中微半导体没有透露客户的名称，但是能够生产5nm芯片的芯片代工企业只有台积电和三星两家。也就是说，中微半导体的设备已经得到了全球顶级芯片代工企业的认可。

细数中微半导体这十几年来的创业史，从零开始起步并不容易，首先面临的就是国外同行的技术封锁，当中微半导体通过努力实现技术领先时，又受到了美国的针对。

3个月前，美国将中微半导体列入“涉军企业名单”，对于被列入“黑名单”一事，中微半导体表示：不影响公司的生产经营，包括进出口业务也一切正常。

分析人士认为，中微半导体这次被针对，与其掌握的半导体刻蚀设备核心技术有关。制造芯片的核心关键设备除了光刻机以外，还有刻蚀机，而中微半导体在蚀刻机领域的技术水平居世界领先地位，打破了美国应用材料、泛林半导体、日本东京电子等美日巨头的垄断局面。

中微半导体创始人尹志尧的创业经历也颇具传奇性，尹志尧原本是半导体行业知名的科学家，从美国加州大学洛杉矶分校获得博士学位后，一直在硅谷的英特尔、应用材料等公司任职，个人拥有300多项半导体行业专利。在回国之前，尹志尧已经做到了世界第一大半导体设备巨头应用材料的全球副总裁。

后来尹志尧受校友江上舟（曾任中芯国际董事长）的感召回国创业，当时身患癌症的江上舟对尹志尧表示，“我只剩下半条命了，外国人拿蚀刻机来卡我们的脖子，哪怕豁出命不要，也要为国家造出蚀刻机，回来一起干吧。”

因此2004年尹志尧召集老部下回国创办中微半导体，彼时尹志尧已经60岁高龄，比56岁创办台积电的张忠谋的年龄还大。

正所谓老骥伏枥志在千里，在尹志尧的带领下，中微半导体仅用3年时间就研发出了第一代介质蚀刻机，工作效率比国外同类产品高出30%，填补了我国在半导体蚀刻机领域的空白。

原本刻蚀机与光刻机一样，受到美国的禁运限制。在中微半导体之前，我国芯片制造企业无法从国外获得最先进的刻蚀机，中微半导体则硬生生地改变了这一局面。

2015年，美国商务部宣布，由于一家中国公司已经生产出在数量和质量上与美国同等的刻蚀机，因此决定取消在刻蚀机领域的出口管制。

巧合的是，尹志尧与华为的任正非、联想的柳传志都是1944年生人，其中任正非和尹志尧如今还依然奋战在企业第一线，为中国科技产业的独立自主继续贡献力量。

去年有消息称华为也在打造自主的芯片生产线，期待双方在半导体设备方面的合作，为中国芯片打出一片天下。