央视传来消息，又一关键设备迎来突破，事关EUV光刻机

央视传来好消息

EUV光刻机号称是人类工业史上的皇冠，其内部的零部件就达到了10万颗，背后还有5000多家供应商。单凭一个国家的科技水准，是很难制造出完整EUV光刻机的。但是我国通过在各项技术节点的攻克，也能不断积累相应的技术。

而且我国并非没有光刻机玩家，上海微电子可以负责整机制造，华卓精科也可以提供双工件台。还有科益虹源对光刻机的激光技术也对光刻机有非常大的作用。

有关注的人还知道，清华大学也在EUV光源上有所研究，一种SSMB光源有望解决光刻机光源核心技术难题。

事关国产科技的发展，中科院作为国内顶尖的机构怎么能不参与。中科院表示过要入局光刻机，攻克一系列的尖端技术。经过科研人员的刻苦研发，终于取得了突破。

据央视传来消息，我国首台高能光源进入到了设备安装阶段。由中科院高能物理研究所参与研究，实现了高能同步辐射光源设备的安装运用。

这是中国首次研制出高能量同步辐射光源，也是全球亮度最高的第四代同步辐射光源之一。

这一光源技术设备实现了全国产化，而且在实现国产化的同时，也将运用到广泛使用场景。其中之一或将包括光刻机。

对国产光刻机的意义

光刻机涵盖非常多的顶尖科技技术，其中光源就是不可或缺的一部分。荷兰ASML是全球唯一能生产出EUV光刻机的厂商，可是ASML有90%的技术都是由国外进口。而美国的光源技术占比达到了27%，占据一台EUV光刻机极大的比例。

所以在美国的阻碍下，ASML无法顺利向中国大陆出货EUV光刻机。

但是中国不断攻克先进光刻机技术，清华大学的稳态微聚束（SSMB）有望用于解决EUV光刻机的光源。

而中科院的高能光源设备是全球最亮的光源之一，在实现设备安装之后，也让中国在光源技术上有了深厚的积累。对国产光刻机的意义也是十分重大的，如果用在高端光刻机上，解决光源问题，避免国外依赖，那么在国内自主光刻机产业中将取得更大的话语权。

美国规则显示，只要含有美国技术的产品，都必须得到他们的许可才能出货。既然如此，那就从根源技术上出发，进行替代。中科院的入局只是开始，光源技术的攻克不是终点，还会有越来越多的难题实现攻克，迟早有一天，国产光刻机定能崛起。

国产光刻机定能崛起

央视传来消息，继中国电科在离子注入机取得进展之后，又一关键设备迎来突破。而且事关EUV光刻机，如果运用得当的话，一定可以在很大程度上完成更先进技术的攻克。

针对EUV光刻机的先进光源技术我们已经有了进展，但是光源只是EUV光刻机的一部分。还有物镜系统、光学镜头、轴承、材料、腔体等等都有待突破。

有志者，事竟成，相信随着中国科学家，科研人员的不断研究，还会取得更多项技术的攻克。

光刻机只是生产芯片的一部分设备，虽然实现了这部分某些技术领域的突破，但要想打通全产业链的自给自足，仍需要努力前行。美国的光源技术，德国的光学系统都处于世界顶尖水准。

但不管有多大的困难，中国都不会放弃自研，国产光刻机一定能迎来最终的崛起。

总结

中国光刻机巨头上海微电子已经迈入28nm制程了，生产出国产28nm或许只是时间问题。但攻克高端光刻机的前提是积累一系列底层技术，一步步打破先进技术壁垒，才有望实现高端光刻机的进展。

中科院的高能同步辐射光源设备完成安装证明中国有能力攻克技术难题，有一项就会有第二项，期待后续再次传来好消息。

对此，你有什么看法呢？