做高端硅基材料的先行者-聚焦智能传感器和半导体产业链系列报道之三

中硅高科电子特气精馏平台。 受访者供图

□本报记者 陈学桦 河南日报社全媒体记者 范坤鹏

高端硅基材料是集成电路发展的基石，硅基材料及器件的创新将决定未来集成电路及相关信息技术的发展。

作为国内规模最大、门类最全的硅基电子材料供应商之一，洛阳中硅高科技有限公司（以下简称“中硅高科”）围绕国家战略需求进行关键核心技术攻关，目前已开发多种高端硅基材料新产品，成功应用于集成电路和光通信企业，拥有自主知识产权的多项产品填补了国内空白，打破了国外垄断，实现了国产化替代。

龙年伊始，千帆竞渡。3月14日，记者走进位于洛阳市孟津区白鹤镇的中硅高科新厂区，一片热火朝天的生产景象，抓进度、抢开局、赢先机，企业以实际行动勾勒出新春的奋斗图景。

21世纪初，中硅高科建成了具有自主知识产权的多晶硅生产线，打破了国外垄断，吸引了一批产业链上下游企业在洛阳落户、聚集，引领国内光伏产业的快速发展。“十三五”以来，中硅高科以“退城入园”为契机，深耕基础研究，从技术上突破、装备上升级、产品上迭代，集成电路用电子级多晶硅和硅基电子特气、光通信行业用高纯四氯化硅等高端硅基材料相继实现国产化。

在中硅高科厂区，当年的多晶硅材料制备技术领域唯一的国家工程实验室，如今转制成了硅基材料制备技术国家工程研究中心，为企业创新注入新动能。

中硅高科副董事长、党委副书记、总经理万烨表示：“我们一开始就把目标放在研究生产我国急需的关键材料上，不断提高产品性能，降低产品价格，助推集成电路材料产业发展。”万烨介绍，在研发方面，企业秉承着“关注一批、研发一批、突破一批”滚动发展思路，组建近20个研发团队，每个团队紧盯一个产品，因此公司每年迭代4到5种新产品，新厂区一期项目已经投产10种产品，到今年5月，中硅高科的产品数量将达到20种，国产替代步伐不断加快。

走进控制指挥中心，生产区人数、工作设备台数、各区域风险等级、厂区月累计耗电量等数据在大屏幕上一目了然，各生产环节平稳有序。

“我们依托硅基材料技术优势，大力推进生产智慧化转型，构建数字化孪生工厂和智慧化数据信息平台，已实现工厂三维可视化，研发模拟、质量管理、环保管控、设备智能巡检等智慧化管理。”中硅高科宣传部付雷介绍，企业“工厂数字化设计”成功入选工信部等五部委公布的2023年度智能制造优秀场景名单。

智能化交互引擎赋能新型工业化。“实现集成电路领域硅基材料产品的国产替代是我们的使命，我们要在2025年前在产业方面实现30种产品的国产供应，并在实验室实现基础研究突破。”万烨表示，中硅高科是河南省电子化学品产业链、洛阳市集成电路和智能传感器产业链链主单位，厂区二期施工已经开始，企业将加大科研投入力度，打造国家前瞻性基础材料创新中心，致力于成为世界一流高端基础材料发展商，引领河南集成电路材料产业走向高端。