美国部长的算计：中国光刻机坏了，我们能修好吗？

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美国部长的算计：中国光刻机坏了，我们能修好吗？

文/·王新喜

不久前，美国商务部工业与安全负责人艾伦·埃斯特维兹在东京接受《日经亚洲》采访时表示，美国主导的对中国企业先进芯片制造设施的限制最终将阻止中国开发自己的芯片。拥有自己的半导体产业。辛苦了。

他指出，ASML的光刻机，以及刻蚀机、测量仪器等关键设备均来自美国三大芯片公司。在先进芯片领域，AMAT、LAM和KLA停止销售新的生产设备和测试设备，也暂停了对中国的服务。

美国官员认为，中国的7纳米芯片仍在主要使用过去购买的设备进行制造。他们押注中国无法生产这些先进设备，因此花大力气限制各种高性能工具和设备向中国出口，“不留任何漏洞”。例如，ASML 1980Di光刻机也在最新的限制政策下被增加。

为了堵住中国芯片的瓶颈，甚至考虑了光刻机的维护。对于这个问题，业界存在一些争论。当中国光刻机出现故障时，我们能修复它们吗？

美国的盘算是中国光刻机坏了。我们可以解决这个问题吗？

为了封锁中国的半导体生产，美国此前要求荷兰公司ASML停止向中国供应配备EUV设备的光刻机。今年10月，美国芯片禁令再次更新，包括对AI芯片、光刻机等提出额外要求，尤其是光刻机，DCO值限制收紧，从而催生了浸没式光刻机NXT:1980Di， ASML可以提前出口，因为它无法出口。

美国禁令还规定，ASML对受限设备进行维护和更换零部件需要获得许可证。这并不意味着您购买后就不受限制。

根据此前数据，ASML此前的高端EUV光刻机造价超过1.5亿美元，DUV光刻机造价超过1亿美元。据最新数据显示，我国光刻机保有量达到1400台。如果所有机器都损坏且无法修复，超过1400亿美元将变成废品。此举可能会给中国造成巨大损失。

所以美国认为，如果没有维护和服务支持，从中国进口的光刻机迟早会出现故障。

他们预计出口管制将导致中国之前购买的光刻机逐渐出现问题，从而削弱中国先进的芯片制造能力。

其他国家过去也面临过类似的情况。例如，由于缺乏备件，俄罗斯飞机不得不拆解部分飞机，为仍能飞行的飞机提供备件。美国官员可能认为中国也会遇到类似的情况。然而，这个想法必须基于两个假设：

首先，中国晶圆厂找不到原装或替换零件。

中国自己无法修复这些设备，中国自己也找不到其他备件。它只能向 ASML 寻求修复，但修复的范围会很有限。

其次，中国光刻机近年来出现部分故障。

但事实是，美国不利于监管的因素之一是芯片制造设备的生命周期较长，有的至今仍在使用30多年。如果新机器出现问题，可能需要5年时间。即使新设备出现问题，也可能需要很长时间才能影响整个生产链。

此外，国家已经储备了过多的浸没式光刻机。数据显示，今年前三季度，ASML光刻机进口金额突破400亿台。其中，采购的浸没式光刻机数量可以达到100台，因此积累的产能绝对足以满足未来几年的需求。保守估计5年内不会出现故障，但5年内，中国光刻机的进步可能不会像以前那样了。

那么回到第一个问题，我们可以自己种植吗？

答案是，这很难，但总有办法解决。

尽管EUV光刻机涉及非常复杂和精密的技术和工艺，但需要足够的专业技能和设备来维护。看看这张外国工程师修理光刻机的照片。光学器件和电路复杂、复杂。虽然它们是一块一块组装起来的，但这并不容易。更重要的是，设备必须串联才能保证智能化运行。

但事实上，中国企业在芯片和工装设备的各个领域都已经做好了替代计划，即中国企业已经做好了芯片和工装设备各个方向对标的准备。另一种常见的情况是，即使发生意外情况，有几个经验丰富的服务人员会继续以不同的方式提供服务或提供替代方案。

实际上，

既然整机无法堵住，那么零件就更难堵住了。由于制造商出于价格考虑大多尝试使用通用零件，因此除非某种类型的产品完全禁止向中国出口，否则许多零件都可以通用。

一个例子是俄罗斯、古巴等国的国产和军用物资被民用物资替代。这主要是欧美对这两个国家实施广泛禁运造成的。此外，受制裁国家缺乏相应的产业基础。

也在这里

零部件出口追踪比整机追踪困难得多，尤其是民用产品。

此前俄罗斯飞机零部件遇到的困难主要是因为突然的制裁，导致前期有点晚了。但随着时间的推移，替代品、特殊渠道进口产品等都会出现。伊朗受到西方制裁多年后，石油管道开始仿制西门子燃气轮机。而且，中国可以发起强有力的反击。中国的对策之一是要求ASML在扣除市场折旧率后回购并出售所有中国光刻机。之后，这笔超过1400亿美元的账户将交到ASML手中。

因为根据中国与荷兰之间的销售合同，ASML承担了售后服务的责任。 ASML全球副总裁、中国区总裁沉波近日表示，ASML的服务不仅仅是针对设备的故障修复和正常运行，更是一个非常重要的附加价值。 ASML团队可以调整和优化客户的工艺，帮助客户实现其工艺要求，使客户在芯片制造过程中获得更好的良率和生产效率，更顺利地完成工艺窗口。

如果ASML停止提供售后服务和零部件，那么ASML就违约了，必须承担违约责任。

就这样，来自美国的压力和中国的要求，让ASML变成了夹心饼干。如果全部回购，超过1000亿美元的旧货将成为仓库中的废物。全球有多少企业能够承受如此巨额的资金？现金损失？

此外，如果陷入维修困境，中国还可能切断包括金属或石墨材料在内的一些关键材料的出口，以达到严重损害对方高科技制造业的目的。

盾构机技术有很多成功案例。从学会如何保持开始，才是打破现状的方法。

现在情况已经明朗，美国官员押注中国无法制造芯片制造设备。中国人虽然嘴上不说，但是却在努力研发。事实上，从维护入手可以成为解决光刻机问题的重要途径。

对于一个国家来说，学会自己修复和制造一些易损件，实际上会导致研发的逆转。以前，盾构机的研发实际上是在对方撤回维修人员后才开始的。国内盾构机技术落后国外100年。为了使用盾构机，我们不得不花7亿元从德国租来。购买国外机器出现问题时，聘请国外技术人员进行维修。然而，技术人员正在寻找中国人向他们学习技术。

为了不陷入困境，国内地质、土木工程、机械工程、力学、水利、电控、测量等各个领域的科学家齐聚一堂，共同参与研究。终于在2008年，中国复合盾构机研制成功。后来证实，中国盾构机完全可以与国外进口盾构机相媲美。随着国内盾构机技术研发的进步，我国自主研发的盾构机现已出口法国、丹麦、黎巴嫩等国家，销量连续三年位居全球第一。

因此，盾构机的突破实际上是从维修开始的逆向研究，以实现突破。美国商务部的副部长目前希望从设备维护的角度来扼杀中国光刻机。等待中国光刻机故障的想法可能意味着对方已经耗尽了能力。这对我们来说实际上是一个突破。从维护入手可能是家用光刻机突破的机会。通过设计和更换零件，我们可以找到生产浸没式光刻机或EUV光刻机的替代解决方案。 ，所有这些问题都解决了。时间最终会告诉我们这件事的结果。笔者预测，在不久的将来，美国官员最终将承认失败，但在此之前，大家脑子里已经有了结果。

作者：王新喜TMT首席评论员本文未经许可不得转载

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