月产能10万片！山东首条12英寸集成电路用大硅片生产线通线投产

央广网德州10月17日消息（记者程立龙）10月16日，山东有研艾斯12英寸集成电路用大硅片产业化项目通线仪式在山东德州天衢新区举行，该项目一期投资25亿元，达产后可实现12英寸抛光片月产10万片，是山东省内第一条12英寸集成电路用大硅片生产线。

大硅片生产线（央广网 天衢新区供图）

“从8英寸到12英寸不仅仅是尺寸的变大。”闫志瑞对央广网记者表示，目前12英寸是全世界直径最大的主流产品，硅片的直径越大，可利用的面积比例越高，每一个集成块的成本就越低，追根到底是一个成本的降低，也是山东省唯一一家制作12英寸硅片的厂家，全部达产后将形成360万片/年大硅片的生产规模。

12英寸硅片的面积是8英寸的2.25倍，可使用率是8英寸的2.5倍左右，单片可产出的芯片数量增加，经济效益明显，随着集成电路制程和工艺的发展，硅片趋向大尺寸化和制程精细化，12英寸硅片为当前及未来较长时间内的主流产品。

目前，德州天衢新区依托中国有研“集成电路关键材料国家工程研究中心”，打造了占地800余亩，总投资93.4亿元的中国集成电路关键材料（德州）基地，包括8英寸、12英寸硅片、高纯溅射靶材、刻蚀设备用硅材料等七个项目。全部达产后可年产6英寸硅片180万片、8英寸硅片276万片、12英寸硅片360万片、12—18英寸硅单晶504吨、高纯溅射靶材4.3万块、高纯贵金属213吨，将成为北方最大的集成电路用大硅片生产基地，使山东省跻身国内硅材料产业第一方阵，靶材产业遥遥领先。

大硅片生产线（央广网 天衢新区供图）

自2013年引进外资芯片封装企业威讯联合半导体公司开始，山东省德州市利用10年时间，推动电子信息产业实现了从无到有、多点开花的蝶变。目前德州拥有电子信息规上企业123家，去年实现主营业务收入近300亿元。

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