至纯科技：目前湿法设备在28纳米节点已经全覆盖，且全工艺机台均有订单

至纯科技近日接受机构调研时表示，公司一直跟动客户进行研发制造，目前湿法设备在28纳米节点已经全覆盖，且全工艺机台均有订单，在更先进制程节点也已取得部分工艺订单。单片硫酸设备为湿法设备中难度最高的工艺机台，公司S300SPM机台已交付给多家国内主流晶圆厂，并已经应用于国内头部客户的12英寸逻辑量产线，月产能最高可达6万片次以上。单设备在用户量产线上的累计产量已超过20万片次，是为高阶湿法设备国产替代进口的重要里程碑。目前公司是国内单片硫酸设备达到上述单机台量产指标的唯一厂商。