谁买走了荷兰ASML公司的顶尖光刻机？

编辑：至味清欢

光刻机有多难造？全世界可以制造光刻机的厂商寥寥可数。其中，荷兰ASML公司是全球最顶尖实力最强的光刻机制造厂商，也是目前全球唯一可以制造EUV光刻机的厂商。此外，日本也有两家光刻机厂商：尼康、佳能，但是已经无法和ASML相提并论，曾经的辉煌已经日落西山，ASML垄断了全球高端光刻机的市场。

荷兰ASML为什么可以做到世界第一？事实上，在2007年以前ASML并不是行业的龙头，那时候日本的尼康、佳能纵横全球市场，所向披靡，但是2007年之后ASML接受了台积电193nm光源的浸没式系统的方案，随后ASML一举击败尼康、佳能，成为全球光刻机的霸主。

由于ASML公司处于行业的垄断地位，所以一台EUV光刻机的价格非常昂贵。据悉，目前一台ASML制造光刻机售价高达1.2亿美元，折合人民币近10亿元。光刻机被誉为“现代光学工业之花”，价格贵主要还是因为光刻机制造流程极其复杂，需要5万个零配件。曾经有业内人士称，毫不夸张的说，光刻机的制造难度甚至不亚于原子弹。

那么，谁买走了荷兰ASML公司的顶尖光刻机？据统计，2019年ASML公司共生产了26台极紫外线（EUV）光刻机，其中有一半卖给了台积电，剩余一半卖给了英特尔、三星等客户。为什么会有一半以上卖给了台积电？要知道，ASML的厉害之处在于和客户实现利益捆绑，台积电、三星、英特尔不仅是ASML的客户，还是股东，所以股东拥有优先提货权。

事实上，我国的中芯国际也曾在2018年向ASML订购了一台1.2亿美元的光刻机，但是由于种种原因，至今也没有到货的消息。所以，作为中国最先进的芯片代工厂，目前只能实现14nm芯片的量产，7nm及以下工艺制程的芯片目前还无法实现生产，和台积电之间的差距也在逐渐扩大。

要知道，荷兰ASML公司的光刻机并不是荷兰一国的技术，而是使用了全世界各领域的尖端技术。一台光刻机需要5万个零配件，而大部分零配件都需要从国外进口，比如美国的光源设备和技术，德国蔡司的镜头组件，以及日本生产的部分零配件，这些零配件都是向ASML提供的，而我们是买不到这些零配件的。

所以，目前国产光刻机的最大问题在于很多零配件无法实现制造，依然被国外技术垄断。作为中国大陆唯一的光刻机制造厂商，上海微电子（SMEE）目前可以制造90nm光刻机，和ASML的7nm光刻机相比显然还有很大差距。上海微电子成立于2002年，我们的光刻机研发起步晚了至少20年，现在追赶还来得及。

数据显示，2020年一季度ASML公司获得了73台光刻机订单，订单量大涨，其中有11台属于EUV光刻机，订单金额达到15亿欧元，一台EUV光刻机售价为1.36亿欧元，ASML的光刻机又涨价了，其中一半还是卖给了台积电！时不我待，我国要加快研发进度，加大科研资金投入力度，我们拥有市场、资金和人才，还有外部环境的倒逼，中国半导体今后将进入快速发展通道。

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