中国造不出光刻机？中科大副院长：美国造不出，中国永远都不可能

2024年9月，中科大前副院长朱士尧在一次访谈中，说出了一句引发全网热议的话：“美国造不出，中国永远都不可能”。

在中美科技较劲、美国一直卡我们半导体脖子，不让我们搞光刻机技术的情况下，这话听着就格外扎心。

很多人疑惑，作为一个见证并推动中国科技成长的行业前辈，他为什么要唱衰中国？

现在全球能造EUV光刻机的，只有荷兰的ASML一家，没有第二家。

而且这东西贵得离谱，普通的EUV光刻机一台就要2亿美元，最新款的甚至卖到3.5亿欧元，折合人民币快28亿，相当于十几架民用客机的价格。

更让人无奈的是，就算你有钱，也不一定能买到。

最近几年芯片供应紧张，ASML一年也造不出几十台EUV光刻机，10年来总出货量也就140台左右，全球也就寥寥几家企业能买得起、用得起。

很多国家和企业，就算揣着钱排队，也得等上好久才能拿到货，这就是EUV光刻机“一机难求”的现状。

很多人以为，ASML能造出这么先进的设备，肯定是自己掌握了所有核心技术，其实不然。

据了解，ASML自身掌握的核心技术，还不到10%，它更像是一个“大管家”，把全球各地的顶尖零件整合到一起，组装成一台完整的EUV光刻机。

这台光刻机上有10万多个零部件，需要全球5000多家供应商共同提供。

其中最关键的核心部件，没有一样是ASML自己造的：

光源系统，要靠美国的Cymer公司（现在已经被ASML收购）和德国的通快公司。

负责成像的光学系统，全靠德国蔡司公司，全球没有第二家能造出符合要求的光学镜子；精密工件台的核心部件，也来自德国。

除此之外，ASML还想出了一个“客户投资计划”，让英特尔、三星、台积电这些巨头企业出钱投资自己，换取先进光刻机的优先订货权。

这样一来，ASML不仅解决了研发资金的难题，还牢牢绑定了全球最顶尖的芯片企业，相当于整合了美国、德国、荷兰三国的顶尖技术，成了光刻机产业链的“盟主”。

了解了这些，咱们再回头看朱士尧说的那句话——“美国造不出，中国永远都不可能”。

他这句话的核心，并不是否定中国造光刻机的能力，而是想提醒大家：

造顶尖光刻机，从来都不是一个国家能单独完成的事，必须尊重行业规律，靠全球协作。

这话一出来，立刻引发了争议，不少人觉得他是在“唱衰中国”。

但事实真的是这样吗？咱们先看看美国的情况就知道了。

美国作为全球科技强国，芯片技术领先世界，可就算是美国，也无法独立造出EUV光刻机的核心部件。

就像前面说的，EUV光刻机的光学镜子，只有德国蔡司能造，美国企业就算再厉害，也得从德国进口。

通快公司的高能激光技术，也是美国造光源系统离不开的，同样需要进口。

这就说明，就算强如美国，也做不到“单打独斗”造顶尖光刻机，全球协作才是这个行业的必然趋势。朱士尧的话，其实是点破了这个真相，而不是否定中国。

可能有人会问，既然全球协作这么重要，那中国为什么不跟着走？

其实中国一直在走自己的路，而且走得很稳。

很多人着急，觉得中国应该立刻死磕EUV光刻机，早日打破垄断，但中国并没有这么做，而是选择先从基础做起，发力中低端的DUV光刻机。

大家不用觉得DUV光刻机“不上档次”，其实它能满足大部分行业的需求，比如汽车电子、家电芯片、物联网设备等，这些领域用的芯片，靠DUV光刻机就能造出来。

而中国在这方面，已经取得了不小的突破。

国内的上海微电子，是咱们唯一能造光刻机的企业，现在已经实现了90nm机型的量产，而且更关键的是，28nm浸没式机型已经批量出货，良率能达到95%。

可能有人不懂“良率”是什么，简单说就是100台芯片，有95台是合格的，这个水平已经非常高了，在国内特色工艺领域，上海微电子的市占率更是处于领先地位。

那为什么中国现在还造不出EUV光刻机？

并不是咱们技术不行，核心原因是EUV的关键核心部件，被德国、日本等国家垄断了。

比如前面提到的蔡司光学镜子、通快的激光技术，还有一些精密零部件，这些国家都对中国实行技术封锁，不卖给我们。

没有这些核心部件，就算我们有再多的努力，也很难造出完整的EUV光刻机。

但大家不用灰心，中国从来没有放弃突破，而且已经在一些关键领域取得了进展。

哈尔滨工业大学，已经攻克了13.5nm极紫外光源技术，这是造EUV光刻机最关键的技术之一，有了这项技术，我们就打破了国外在光源领域的垄断。

还有福晶科技，它生产的激光晶体，全球市占率达到了60%，也就是说，全球大部分光刻机用的激光晶体，都是中国造的。

现在，上海微电子也在加速产业化进程，不断优化技术，朝着更高端的光刻机迈进。

我们没有急着一口吃成胖子，而是一步一个脚印，先做好中低端，再逐步突破高端，这种稳扎稳打的方式，其实才是最靠谱的。

所以说，我们不用羡慕ASML的垄断地位，也不用抱怨国外的技术封锁，中国的科技发展，从来都是在逆境中成长的。

相信用不了多久，我们就能打破国外在光刻机领域的垄断，让“中国造”光刻机，走向全球。