ASML从起步到垄断的漫长历程

1984年ASML成立，那时候它只是飞利浦和ASM国际的合资小公司，员工没多少，厂房也简陋，主要靠飞利浦内部订单活着。早期产品性能一般，远比不上美国GCA或日本尼康佳能那些老牌选手。

到了1991年，ASML推出PAS 5500系列，引入了对准技术，这东西在芯片设计简单时没啥优势，但随着芯片复杂起来，它帮ASML抢了不少市场份额。1995年公司在阿姆斯特丹和纽约上市，募集资金砸进研发，2000年收购硅谷集团，整合了193纳米扫描技术，供应给英特尔这样的客户。

其实ASML的EUV研发从1997年就开始了，花了十几年才搞定。2009年，他们在IMEC测试22纳米SRAM，2013年第一台生产级EUV机器出货，到2022年已卖出140台左右。2023年，高NA EUV原型送到英特尔，价格高达2亿美元。

这些年ASML的市场份额从2001年的不到30%涨到2023年的80%以上，全靠跟台积电三星合作，优化浸没式技术。ASML这40年就是一步步积累，从落后到领先，靠的是供应链伙伴如卡尔·蔡司的镜片支持。

荷兰半导体专家详细讲了ASML怎么在2003年推出TWINSCAN ArF浸没扫描仪，双台设计提升产量和精度，甩开佳能尼康。书里还说ASML的成功在于生态模式，供应商齐心协力，2010年首批EUV扫描仪发货，2016年进入批量生产。话说这公司从1984到2024，净收入从起步到数百亿欧元，员工上万，主要靠EUV垄断7纳米以下芯片制造。

中国企业光刻机领域的狠劲投入

中国企业这几年在光刻机上发力，劲头比ASML当年还大。华为从2019年起组建团队，协调产业链，2023年在上海建研发中心，投了16.6亿美元，招募前ASML员工逆向研究机器。2025年初，深圳团队搞出EUV原型，占地一整个厂房，用激光产生等离子体生成13.5纳米光波，虽然还没量产芯片，但已能运行产生极紫外光。这项目涉及数千工程师，华为当核心，联手多家研究所。

上海微电子设备（SMEE）从2002年起专注这块，早期是科研项目，2023年推出SSA800浸没式机器，能做28纳米芯片，已交付中芯国际。SMEE的系统支持90纳米以上节点，市场份额在国内达90%，全球35%。

荷兰专家在访谈里说，中国这种全产业链融合模式历史上少见，华为从通信跨界，建垂直体系，投入比ASML的渐进式多得多。2024年，中国光刻设备进口涌到34亿欧元，主要囤DUV机器，防美国进一步管制。

其实中国进展不慢，SMEE的先进包装光刻机已出货500台，2024年获EUV专利，聚焦光源和镜片。华为和SiCarrier合作，开发浸没DUV机器，目标赶上ASML。2025年，AMIES从SMEE分拆，展示化合物半导体光刻到晶圆键合工具，减低对ASML依赖。中国企业不光抄，还在创新，比如用稳态微束（SSMB）或放电等离子体（DPP）方法，避开ASML的激光技术专利。

地缘压力下的全球竞争格局

从2019年起美国禁ASML卖EUV给中国，2022年扩展到EDA软件，2024年进一步限DUV。ASML CEO福凯说，这把中国芯片推后10到15年，但中国没闲着，加速自给ASML走钢丝，一面遵从美荷法规，一面保持中国市场，因为中国是最大买家。2024年第三季，中国贡献ASML近50%营收，主要DUV设备。

中国反制也来，2025年宣布稀土出口管制，含0.1%以上中国稀土的产品需审批，这直击ASML机器，成本150到380百万美元一台。中国控制90%稀土精炼，ASML依赖这供应链。2025年，中国切断跟ASML和台积电合同，转向本土工具如SMEE的LDP系统。

话说这竞争不光技术，还牵扯供应链重塑。ASML跟欧洲日本合作稳住，但中国建“曼哈顿项目”式团队，2025年EUV机运转，虽落后ASML两代，但缩小差距。2024年SMEE浸没系统落后ASML20年，但中国专利申请猛增，聚焦EUV光源。ASML垄断靠创新，但中国狠劲可能改写格局。ASML40年积累稳，但中国企业比它还狠，未来谁主沉浮，还得看技术突破和政策博弈。