光刻机备件齐涨 10%，ASML 对韩统一调价引连锁反应

10 月 10 日消息，光刻机巨头 ASML 决定将供应韩国市场的光刻机替换部件价格统一上调 10%，涉及 EUV 与 DUV 光刻机的全部备件，并将从 2027 年 1 月供货的产品开始执行新价格。三星电子与 SK 海力士已接受该方案。

光刻机是先进制程芯片制造的核心设备，其内部装有大量精密零部件，包括负责光线传输的透镜、反射镜等光学部件，以及光源、精密驱动装置等。备件价格上调，会直接推高晶圆厂维持设备运转的日常成本。

涨价细则：全系备件统一提价

据业内人士消息，ASML 总部早在 9 月初就通过韩国分公司向三星电子和 SK 海力士提出涨价方案，在与两家公司的采购部门多轮协商后，最终敲定了涨价事宜。此次调价覆盖极紫外光刻机（EUV）与深紫外光刻机（DUV）的全部备件，从 2027 年 1 月供货的产品起适用新价格。

涨价范围不仅包括晶圆厂定期采购的耗材，也涵盖因故障或性能下降而需要更换的重要部件。过去 ASML 通常只在原材料大幅涨价或个别材料采购困难时，对相应零部件单独调价，像这样对所有备件统一提价 10% 的做法并不常见。

图：ASML 高数值孔径 EUV 光刻机，集成了大量精密光学与机械部件

利润动因：售后业务成增长引擎

有半导体业内人士分析，零部件所用材料普遍涨价确实是原因之一，但客户近年赚了钱，ASML 也希望从中多分得一部分利润。

ASML 将面向已安装设备的售后服务、备件与升级业务收入单独统计。2025 年这部分营收达到 81.93 亿欧元（约合 615.29 亿元人民币），占公司总营收 326.67 亿欧元（约合 2453.28 亿元人民币）的 25%，公司预计该项业务今年收入将增长 30% 以上。

图：EUV 光刻系统结构，光学部件与光源是备件更换的主要对象

连锁效应：设备价格或同步上探

除备件之外，ASML 新接订单的设备价格也很可能上涨，公司正与主要客户商讨提高设备售价。业内认为，三星电子与 SK 海力士接受这轮全面涨价方案后，其他设备及零部件供应商要求涨价的底气也会更足。

从备件到整机，ASML 正试图把售后服务与升级业务做成更稳定、更赚钱的板块。这轮涨价能否被更多客户接受，将影响整个半导体设备供应链接下来的定价走向。

图：EUV 光刻机内部结构复杂，备件供应长期由 ASML 主导

关键词： ASML、光刻机、EUV、备件涨价、半导体设备