光刻机十万零件谁造的？中国零部件厂正从底层瓦解封锁

光刻机有十万个零件，这个数字大家都听烂了。

但你有没有想过一个问题：这十万个零件，是谁造的？

答案可能会让你意外。ASML自己只负责设计和集成，百分之九十以上的零部件，全是从全球各地买来的。德国的蔡司做镜头，美国的赛默飞做传感器，日本的 NSK 做轴承，瑞典的阿法拉伐做阀门。

换句话说，ASML是一家超级组装厂。

这个局面对中国芯片产业来说，既有利也有弊。弊的是，我们买不到整机。利的是，我们可以先从零部件下手，一点一点瓦解封锁。

为什么？因为零部件供应商是全球化的。德国人不会因为你是中国客户，就不卖给你一个陶瓷环。日本人也愿意把轴承卖给任何付得起钱的人。

但是，2022年之后，情况变了。美国搞了实体清单，搞了长臂管辖。很多零部件供应商开始自我审查，不敢把关键零部件卖给中国客户。

这时候，国内零部件厂商的机会来了。

先说真空泵。芯片制造的大部分工序都在真空环境下进行，真空泵就是产线的“肺”。以前高端的干式真空泵，全是爱德华、莱宝、普旭的天下。

中科仪和汉钟精机，花了四年时间，硬是把干式真空泵做到了和爱德华同一水平。到2026年，国内8英寸和12英寸产线上，国产真空泵的装机量已经超过了两千台。不是小批量试用，是真金白银上量跑的。

再说射频电源。这个东西很多人没听过，但它极其重要。刻蚀机和薄膜沉积设备里，都要用射频电源来产生等离子体。没有它，设备就是一堆废铁。

以前射频电源是美国万机、日本大阪真空的禁脔。国内不是做不出来，是做出来的电源功率不稳定，等离子体忽大忽小，刻出来的沟槽深浅不一。

英杰电气和北方华创的零部件部门，啃了好几年。2025年，国产射频电源在12英寸刻蚀机上跑通了验证。功率稳定性做到了和万机同一个量级。虽然最顶级的型号还有差距，但成熟制程已经可以完全替代了。

还有陶瓷件。这个看起来最不起眼的东西，其实是半导体设备里最核心的耗材之一。晶圆传送手臂上的陶瓷涂层、刻蚀腔体里的陶瓷内衬、加热器里的陶瓷基板——全是陶瓷的。

为什么非要陶瓷？因为金属会污染晶圆。陶瓷耐腐蚀、耐高温、不产生金属离子。

以前高纯氧化铝、氮化硅、碳化硅陶瓷部件，全是从日本京瓷、美国阔斯泰进口的。国内做工业陶瓷的厂子不少，但能做到半导体级别的微乎其微。

2024年，一家叫富创精密的公司，做出了12英寸产线上用的碳化硅手臂。通过了一家头部刻蚀设备厂的验证，开始批量供货。这看着是个小事，但背后的意义是：半导体零部件国产化，已经渗透到了最不起眼的角落。

零部件的逻辑，和大设备不太一样。它不是“单点突破一鸣惊人”，而是“蚂蚁搬家水滴石穿”。这个月搞定一种阀门，下个月搞定一个密封圈，再下个月搞定一套加热器。每搞定一个，封锁就松一寸。

等到几千个关键零部件都有了国产备胎的那一天，设备整机的大门，也就关不住了。