ASM申请用于填充间隙的设备和方法专利，公开用于填充间隙的设备和方法

金融界2025年6月2日消息，国家知识产权局信息显示，ASM IP私人控股有限公司申请一项名为“用于填充间隙的设备和方法”的专利，公开号CN120072691A，申请日期为2024年11月。

专利摘要显示，公开了用于填充间隙的设备和方法。示例性方法包括执行一个或多个沉积循环，并执行真空紫外辐射和可选的退火。

本文源自金融界