首台国产光刻机诞生！打破西方60年垄断，荷兰巨头ASML坐不住了！

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8月14日，一则振奋人心的消息让世界震动，中国首台国产商业电子束光刻机诞生，在世界达到一流水平。

消息一出，不仅荷兰光刻机巨头ASML坐不住了，美国也好像热锅上的蚂蚁一样，难以言说对中国的羡慕之情。

此次面世的电子束光刻机名为“羲之”，这就能体现中华文化的博大精深，寓意这款机器像王羲之一样“入木三分”。

这款“羲之”能通过高能电子束在硅基上“手写”电路，就好像用这纳米画笔在芯片上细致地作画一样，能够灵活地修改和设计图案。

这也是咱们国家这“羲之”的优点所在，传统光刻需要掩膜版，而“羲之”却能直接在芯片上精妙书写。

其实电子束光刻机和广义上的光刻机不完全相同，咱平时说的荷兰ASML的光刻机是EUV光刻机，也就是极紫外光刻机。

EUV光刻机依赖的是光学系统，通过透像将掩膜版上的图案投影到涂有光刻胶的晶圆上，简单来说也就是类似“投影成像”。

像是ASML的EUV光刻机的精度，目前可达到5纳米以下，效率是很高的，每小时可以处理数十片晶圆。

像是一些手机和电脑所用的芯片，以及人工智能需要的芯片，很多都是这个生产的，毕竟他生产的比较快。

中国刚刚诞生的“羲之”光刻机，不属于这种利用光学系统的光刻机，而是电子束光刻机。

“羲之”光刻机的精度更加高，达到了0.6纳米，但是=如此高精度的光刻机目前是没办法进行量产的。

相比于EUV光刻机每小时数十片晶圆，“羲之”光刻机几个小时才能处理一片晶圆。

当然这两款光刻机所运用的场所也是不一样的，“羲之”主要是提供那些芯片研发的，这两款一个是关于生产的，一个是关于研发的。

可以把电子束光刻机理解成光刻机中的“特种部队”，进行一些高精密度和小批量研发任务，因此别小看电子束光刻机的重要性。

其实市面上也有电子束光刻机，只不过这在国际上一直是垄断的，像是德国和日本都有类似的技术，但对中国的把控十分严格。

像是中国科学技术大学和之江研究室等先进研究所，长期都没办法采购同类的设备，严重限制了中国量子芯片前沿领域的研发。

这不仅给咱们国家增加了研发芯片的金钱成本，更是消耗了咱们宝贵的时间，让中国芯片研发受阻。

“羲之”的出现为何意义重大，原因就在于他打破了国际上对中国电子束光刻机的垄断，甚至让国际社会羡慕中国。

因为“羲之”不需要掩膜版，这就意味着如果是想要修改设计的话，不需要再多次更换掩膜版，这极大提高了研发的效率。

别看“羲之”首个国产商业化电子束光刻机，它的性能一点也不逊色，在关键指标上已经达到了国际一流水平。

让人难以置信的事，功能如此强大的电子束光刻机，价格却十分便宜，相比于ASML的EUV光刻机约15亿人民币来说，能买好几台“羲之”了。

芯片的研发无疑是一件大工程，电子束光刻机又在芯片的研究初期有着不可替代的优势，“羲之”的出现可能加快中国整体芯片的研发进度。

因为无需掩膜版，这些设计也不用反复调试电路结构，“羲之”可以将研发周期缩短50%以上，大量节省了时间成本。

“羲之”也做到了产业链的自主化，说他是国产电子束光刻机是因为像一些核心部件都将是国产的，避免被“卡脖子”的风险。

这款“羲之”电子束光刻机是由浙江大学余杭量子研究所，依托省重点实验室自主研发，真正做到了划时代意义的研发。

此次“羲之”的问世也是标志着我国科技里程碑更一步，中国的芯片研究指日可待，曾经那些被拒绝的研究所都有希望再次用到更好的电子束光刻机。

中科大以及一些高校也能进行配备，这样不仅能做到商业用途，在教育用途上发挥的价值也是不可估量的。

说“羲之”具有划时代的意义不仅是他的功能，还有他意味着中国的芯片研发迈出了一大步，也能给后续的光刻机研发提供借鉴价值。

最重要的是，“羲之”也能提高中国半导体领域的地位，这一研究填补了中国这项技术的空白，为中国赢得更多话语权和主动权。

中国在光刻机领域，尤其是电子束光刻机领域，从日本JEOL在1967年推出首台设备以来，被垄断了大约60年。

之间数不尽的科学家前仆后继都没有打破垄断，一直面临着技术封锁和研发中断等原因，这次“羲之”不仅打破了垄断，还处于世界主流地位。

“羲之”的出现还能带动光刻胶、特种气体上下游产业的国产化，推动整条半导体链自主可控。

以美国为首的国际社会对中国芯片产业的封锁数不胜数，美国都将半导体视为制裁中国的“战略武器”。

在2025年的5月，美国商务部还以“怀疑华为使用美国技术”这种蹩脚的理由，打算全球禁用中国先进计算芯片。

2020年以来，美国禁止向中国出口14纳米以下制程的光刻机、刻蚀机等设备，想要将中国的半导体研究扼杀在摇篮里。

到了2024年12月进一步扩大限制，将136家中国实体列入了制裁清单，在一系列设计和生产芯片过程中阻挠中国。

可中国岂能让美国如愿，不管是中国昇腾芯片的诞生还是如今“羲之”的出现，都是狠狠地把美国的颜面扔在地上。

如今的中国有望在半导体领域从“跟跑”变为“并跑”，“羲之”的出现又让咱们看到了“领跑”的可能

相信终有一天，中国能彻底打破西方的技术封锁，当美国再次拿技术封锁作为威胁时，咱们对此会不屑一顾，相信这天很快就会来临。

信息来源：

杭州日报：全国首台国产商业电子束光刻机在杭“出炉”

21世纪经济报道：量子芯片研发有了“中国刻刀”，深市同标的最大芯片ETF天弘（159310）涨近3%，寒武纪-U再创新高