扬眉吐气！国产DUV光刻机研制成功，各国反应：美韩荷都不敢笑了

说起芯片这事儿，大家都知道光刻机是核心中的核心，全球就那么几家能玩转，尤其是荷兰的ASML几乎垄断了高端货。以前美国一手卡着脖子，不让ASML卖EUV给中国，还从2019年开始逐步禁DUV的先进型号，目的就是想让中国高端芯片卡壳，得靠进口才能过日子。

可没想到，中国这边自己憋着劲儿搞研发，最近国产DUV光刻机终于传出大突破，28nm级别的机器出来了，这下子美国、韩国、荷兰那边脸都绿了，反应一个比一个激烈。

上海微电子装备集团，也就是SMEE，从2010年代就开始埋头干DUV项目，早年主要是90nm干式设备，2023年左右推出SSA600系列，能稳定生产90nm芯片，用在一些中低端领域如电源管理和射频芯片。到了2024年，他们的网站还没正式列出SSA800，但业内消息满天飞，说这款28nm浸没式DUV机器已经在测试阶段，分辨率能到28nm，叠加精度控制在8nm以内。

国产化率不算低，光源用氟化氩激光器，波长193nm，团队花了好几年优化镜头和振动控制系统，避免图案偏移。2025年上半年，SMEE正式交付首批SSA800-10W给中芯国际这样的伙伴，用于生产线验证。测试数据显示，晶圆处理速度每小时能到150片左右，良率起步在70%以上，经过调整能上85%。这不是吹牛，证券日报和华鑫证券研报都提了，国产设备已经在90nm以下节点有实质进展。

除了SMEE，还有一些初创公司冒头。比如宇量昇，这家上海企业2025年9月宣布实现28nm DUV光刻机突破，中芯国际直接合作测试设备。他们的机器对标ASML的NXT:2000i，体积小了三分之一，光源稳定性还略胜一筹。专利已经申请下来，预计2025年底开始小批量生产。这事儿在留园网和新浪财经上都有报道，强调这是国家政策支持下，公私合作的结果。以前中国进口光刻机一年225台，国产化率不足3%，现在DUV这一块儿总算有了自己的家伙事儿，能部分顶上ASML的空缺。

芯片生产不是光有光刻机就行，得整条线国产化。SMEE的机器整合了本土供应链，比如华卓精科的双工件台，定位精度1.5nm，国科精密的投影物镜。2025年张江科学城建了新生产线，组装10台机器，中芯国际参与优化，解决了浸没液气泡问题，加了脱气装置把缺陷率降到0.1%。华为的麒麟芯片和昇腾系列就受益于此，2023年Mate60用7nm等效工艺，现在2025年昇腾910C产量翻番，用增强版7nm，浮点运算320 TFLOPS。紫光展锐和小米处理器自给率也上来了，CPU国产比例超20%，AI芯片40%。这些数据来自趋势科技和北京时报报道，证明外部封锁反而逼中国加速自力更生。

美国那边一看中国DUV有起色，急眼了。从2018年就开始施压荷兰，2019年正式禁EUV出口，2022年10月商务部全面限制半导体出口，2023年扩展到14nm以下DUV。2025年3月，他们要求荷兰隐藏对华销售数据，实际销售额从2024年上半年48亿欧元下滑。到了8月，美国撤销三星和SK海力士在华工厂设备豁免，得逐案申请许可证，导致股价大跌。众议院中国问题特别委员会10月出报告，指责ASML对华销售是漏洞，敦促全面管制。观察者网和网易报道说，美国想用芯片换政治经济利益，但现在中国用老设备优化多重曝光技术，硬是造出先进芯片，这让他们的算盘落空。

韩国反应也挺直接。三星和SK海力士高层在2025年9月首尔会议上表态，中国技术提升会影响全球市场份额，得调整供应链。韩国贸易部早前就对美国政策有意见，因为他们依赖中国市场，2023年半导体出口大头在中国。现在荷兰新规一出，韩国企业更担心，英伟达对韩供应HBM增5倍，但整体链条震动。华尔街见闻提到，韩国企业抛弃部分技术，转向本土投资，以防中国DUV突破抢份额。

荷兰是最直接的，ASML本是受益者，对华营收占比2024年28%，但政府顶不住美国压力。2023年跟进禁部分DUV，2024年4月停维修服务，2025年10月底提前半年启动新规，把DUV出口限制从7nm调到14nm，ASML的1970i和1980i机型纳入许可证管理，审批周期拉长。11月6日，荷兰政府正式宣布14nm门槛，全球半导体产业链震动。中华网新闻和QQ报道说，这比预期早6个月，ASML营收占比降到20%，内部不满情绪高涨。公司声明遵守规则，但市场情况不乐观。中国交付量翻番，ASML市占率从90%滑到85%。全球时报评论，如果荷兰继续跟美国走，北京会反制，限制贸易或找替代供应商。

说到底，科技竞争靠实力，中国DUV成功不是运气，是长期投入的结果。美韩荷反应激烈，说明他们慌了，以前笑中国造不出，现在谁还笑得出来？产业链重塑在即，中国芯片路还长，但这一步走得稳。