像乐高一样造芯片？甬江实验室“上新”8英寸半导体器件验证线

潮新闻 记者 翁云骞 通讯员 李芮

摩尔定律认为，集成电路上可以容纳的晶体管数目在大约每经过18个月到24个月便会增加一倍。但是，这个过程可以无限继续下去吗？当晶体管尺寸逼近原子极限，未来的集成电路又将如何设计？

通线仪式。甬江实验室供图

11月18日上午，异质异构集成前沿论坛暨甬江实验室信息材料与微纳器件制备平台验证线通线仪式在宁波举行，备受关注的平台8英寸验证线正式通线。依托该验证线和去年底先期投用的研发线，平台将聚焦多材料异质异构集成，以国际一流水平的软硬件为支撑，为半导体行业提供从“科学发现—技术验证—工程实现”的全链条研发验证服务，助力宁波打造能级更高的半导体创新生态。

何谓异质异构？甬江实验室主任崔平作了个形象的比喻，“如果说传统的半导体设计是二维微雕大师，那异质异构就是‘三维建筑师’。我们不再执着于用一种材料建造整栋大楼，而是博采众长：让硅芯片主要负责计算，让化合物半导体主要负责光电与通信，各种器件各司其职，通过先进封装与三维集成技术，构建出高效协作的立体系统。”

甬江实验室信息材料与微纳器件制备平台验证线。甬江实验室供图

据了解，目前英伟达、三星等全球顶尖芯片企业已在异质异构方向提前布局，英伟达的多款高性能GPU就是这种新架构思路的产物。但受限于新材料与现有工艺的兼容，多物理场耦合的挑战，以及动辄数十亿的研发投入，国内在相关领域的探索仍处于起步阶段。

如何破局？甬江实验室的想法是打造一个具备强大软硬件实力的公共研发验证平台。

甬江实验室信息材料与微纳器件制备平台位于甬江实验室创园，占地12,000平方米，其中洁净室面积6,000平方米，配备包含165台(套)高端精密设备在内的超级“工具箱”和一支规模达到60余人的运营团队。聚焦“芯片异构集成”与“微纳光学”两大方向，平台构建从材料制备到晶圆制造、器件封装、测试分析及可靠性验证的全流程半导体设计制造工艺，并提供先进稳定的工艺设计套件和高工业参考价值的系统解决方案。

甬江实验室信息材料与微纳器件制备平台验证线。甬江实验室供图

“我们将以核心半导体技术为根基，支撑科研团队创新，把想法变成样品，解决量产前无处验证的产业痛点。借助模块化的工艺库，平台可以像搭乐高一样构建芯片。”平台负责人钟飞介绍道。

记者获悉，异质异构领域类似甬江实验室这样的公共研发验证平台，国内还十分罕见。

甬江实验室信息材料与微纳器件制备平台张瓦利研究员告诉记者，一个强有力的科研平台往往会催生产业创新生态的加速构建。

“以苏州纳米所为例，成立十余年来已在当地集聚一大批优质半导体企业，宁波制造业基础雄厚、开放创新意识强，期待通过信息材料与微纳器件制备平台的建设，为当地打造更优的半导体创新生态。”

为推动半导体异质异构集成技术前沿创新，异质异构集成前沿论坛也于18日拉开帷幕。中国电子信息产业发展研究院总工程师李宏伟，华润微电子首席专家李少平，国家特聘专家、浙江大学求是讲席教授、浙江大学微电子集成系统研究所所长储涛等多名专家作了分享。

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