中国造不出光刻机？中科大副院长：美国造不出，中国永远都不可能

去年九月份，一段视频在网上闹得沸沸扬扬，前中科大研究生院副院长朱士尧在采访里直截了当扔出这么一句话，说美国都搞不定光刻机这种东西，中国就更别想了，永远都没戏。这话一出口，立马在科技圈和普通人中间炸了锅。朱士尧这个人，1944年生人，早年从中科大原子核物理专业毕业，专攻等离子体物理，当过学校行政领导，还在2005到2014年间去华为干过党委副书记，现在退休了还偶尔露面讲讲科技话题。

他的背景听着挺硬气，但这次发言让不少人觉得他太悲观了，直接把中国在芯片装备上的潜力给否了。网上很多人吐槽，说这老头子不相信自家科研团队的实力，简直就是在泼冷水。结果，这事从微博抖音传到知乎论坛，讨论帖多得数不过来，有人列数据反驳，有人分析他的职业经历，总之热议了好一阵子。

光刻机这玩意儿，说白了就是芯片工厂里的核心机器，用来在硅片上画出电路图案，越先进的型号分辨率越高，能做出来的芯片就越小越强大。最顶尖的叫EUV极紫外光刻机，现在全球就荷兰ASML一家能大规模生产，一台卖2亿美元左右，重180吨，里面塞了10多万个零件，涉及光学、真空、材料科学等一大堆领域。朱士尧的点在于，这东西不是哪个国家单打独斗就能整出来的，美国作为科技老大，也没独立搞定过，得靠国际供应链合作。比如ASML的设备，光源部分有德国蔡司的镜头，美国提供激光技术，日本有精密机械支持。朱士尧拿这个说事，意思是中国就算再努力，也绕不开这种全球协作的现实，单靠自己一国之力，门都没有。这观点在2024年9月7日那段视频里讲得明明白白，之后被各种媒体转载，腾讯新闻、新浪网都发了报道，阅读量轻松上百万。

不过话说回来，朱士尧的言论也不是空穴来风。光刻机这行当，门槛高得吓人，早年间美国确实试过自己造，但后来发现成本太高，技术链太长，就转而通过盟友控制市场。2023年，美国政府就开始推动出口管制，逼ASML停供中国部分深紫外DUV型号，2024年1月荷兰政府还撤销了几个设备的出口许可，直接让中国企业拿不到货。这套组合拳下来，中国芯片产业确实卡住了脖子，中芯国际之类的厂家只能用老设备多曝光几次来凑合7nm工艺，成本高了三倍不止。朱士尧可能就是看到这些现实，才下那么重的结论，说中国落后美国50到100年，永远追不上。但他忽略了，或者说没强调，中国人从来不服输，这几年在光刻机上砸的钱和精力可不少。

中国在光刻机上的起步不算晚，从2000年代就开始布局。上海微电子装备公司是主力，早年推出过90nm的机器，2022年搞定28nm浸没式DUV，现在国产化率超过70%。到2025年5月，他们首台28nm设备交付给客户，正在验证阶段。关键是，中国没死盯着ASML的路子走，而是另辟蹊径。

比如在EUV上，放弃了激光产生等离子体LPP方案，转用激光诱导放电等离子体LDP技术，这玩意儿设计简单，能耗低，转换效率达2.3%，比ASML的0.8%高出一大截，体积还小30%。2025年3月，首台LDP样机SMEE-3600在华为东莞工厂开始压力测试，第三季度正式进试生产，目标2026年量产。这消息从知乎专栏和科技媒体传出，数据挺靠谱的，能量密度是ASML的1.7倍，单位晶圆耗电降45%。另外，上海光机所的团队在光源上也出成果，2025年3月在《中国激光》杂志发论文，说实验平台转换效率接近6%，未来能进一步优化国产EUV。

再看产业链，中国从2020年提出科技自立自强后，动作就没停过。北京、上海、深圳的实验室天天在搞实验，光源强度测试、真空环境优化、精密机械迭代，一步步来。像中科院的量子光刻探索，2025年实现5nm分辨率，虽然稳定性还不如ASML的99.99%，但起码在往前走。上海微电子还联合华为、中芯国际成立创新联合体，计划2025年底把28nm光刻机国产化率拉到100%。这些进展不是吹牛，ASML自己2024年交付60台EUV，中国同期能产50台28nm DUV，虽然节点落后，但产能规模在追。国际上，美国的管制也没完全堵死路，中国通过稀土出口反制，2025年10月实施新规，影响ASML供应链，让他们也头疼。

朱士尧的发言在X平台上也被扒拉出来讨论，有人发帖说他是老一辈的悲观派，不信中国能逆袭。还有人贴视频，项立刚之类的博主直接怼，说做出DUV就能搞EUV，就是光源不同，你不信中国的事多了去了。X上的帖子从2024年9月18日开始多起来，有人分析朱士尧在华为时负责管理，没深涉技术，所以看法偏保守。知乎问题“怎么看朱士尧说中国造不出光刻机”有上千回答，有人提吴汉明院士2021年的话，说光刻机本来就不是一国能独揽的，得全球5000多家供应商配合。但中国不一样，我们有举国体制的优势，上世纪从原子弹到高铁，都是这么干出来的。

说到底，朱士尧的话刺耳，但也提醒大家，光刻机不是喊口号就能成的。技术壁垒在那摆着，原材料依赖进口超90%，像193nm激光器得靠美国Cymer，高纯硅片从德国Wacker拿。这些卡点不破，先进制程就难上难。但中国这些年证明了，遇到瓶颈就钻研，华为麒麟芯片从设计到部分制造，都是自己折腾出来的。光刻机也一样，从28nm到14nm，再往下探，时间要花，但方向没错。2025年到现在11月，试生产已经在进行，量子光刻稳定性在提升，产业链闭环逐步形成。这不光是设备的事，还牵扯人工智能优化流程，5G物联网的生态升级。中国在全球半导体链里的份额，ASML自己说2025年销售额25%来自中国市场，这说明需求强劲，我们的努力没白费。

朱士尧没再公开回应，他的言论成了科技话语的一部分，推动更多人关注领域。负面看，他被批不爱国，但客观说，这话暴露了老专家的局限性，没看到年轻一代的创新劲头。中国科技路还长，但从历史看，我们总能在关键时刻翻盘。光刻机这事儿，短期难，长期看，有希望。毕竟，科技竞争就是比谁更坚持，谁更聪明。朱士尧的“永远不可能”听着绝对，但现实在变，2025年的进展就证明，可能性总在努力中诞生。