金融界2025年7月2日消息,国家知识产权局信息显示,细美事有限公司申请一项名为“用于处理基板的装置”的专利,公开号CN120237088A,申请日期为2024年12月。
专利摘要显示,本发明提供了用于处理基板的装置。用于处理基板的该装置包括第一处理槽、第二处理槽、支承单元和升降器单元,该第一处理槽具有第一容纳空间,第一处理液容纳在该第一容纳空间中,并且该第一处理槽对多片基板执行液体处理,该第二处理槽具有第二容纳空间,第二处理液容纳在该第二容纳空间中,并且该第二处理槽对该多片基板执行液体处理,该支承单元固定地安装在该第二容纳空间中,该升降器单元在该第一处理槽与该第二处理槽之间传送基板,其中,在这些基板在该第一处理槽中被支承在该升降器单元上的状态下,对该多片基板进行液体处理,并且在这些基板在该第二处理槽中被支承在该支承单元上的状态下,对该多片基板进行液体处理。
本文源自金融界
更新时间:2025-07-03
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