江丰电子获得实用新型专利授权:“一种防止异常放电的一体成型靶材结构”

证券之星消息,根据天眼查APP数据显示江丰电子(300666)新获得一项实用新型专利授权,专利名为“一种防止异常放电的一体成型靶材结构”,专利申请号为CN202421821706.X,授权日为2025年6月3日。

专利摘要:本实用新型提供了一种防止异常放电的一体成型靶材结构,所述一体成型靶材结构包括由上至下依次同心设置的第一台阶和第二台阶;所述第一台阶的直径<第二台阶的直径;所述第一台阶的上表面为溅射面;所述第二台阶的两端分别对称设置有底面为圆弧形的沟槽;所述沟槽与第二台阶的边缘之间设置有安装槽;所述沟槽的开口直径为10?12mm;所述沟槽的深度为5?6mm。本实用新型提供的一体成型靶材结构通过设置底面为圆弧形的沟槽从而增大靶材和溅射机台零件之间的间距,避免靶材在使用过程中由于边缘形变导致靶材与机台零件接触,避免发生异常放电问题。

今年以来江丰电子新获得专利授权30个,较去年同期减少了26.83%。结合公司2024年年报财务数据,2024年公司在研发方面投入了2.17亿元,同比增26.5%。

数据来源:天眼查APP

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更新时间:2025-06-06

标签:科技   异常   专利   结构   电子   沟槽   台阶   底面   直径   机台   天眼   零件

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