细美事申请能分别排放衬底处理期间产生气体的设备专利，能在多个排气槽内提供均匀压力

金融界2025年7月2日消息，国家知识产权局信息显示，细美事有限公司申请一项名为“衬底处理设备”的专利，公开号CN120237054A，申请日期为2024年12月。

专利摘要显示，本发明涉及一种衬底处理设备，更具体地，涉及一种能够分别排放衬底处理期间产生的气体的衬底处理设备。本发明的目的在于提供一种能够同时分别排放气体与处理液体，并且能够在多个排气槽内提供均匀的压力的衬底处理设备。

本文源自金融界