哈工大突破的并不是光刻机技术,外媒:中芯国际“赢麻”了

芯片这块儿,中国这些年真是卯足了劲儿在追赶,尤其是光刻机那头,国外老卡着不放,搞得大家伙儿都挺上火的。2023年,哈尔滨工业大学在极紫外光源上整出点动静来,不是整台光刻机,就光源这关键部件,用的是放电等离子体那套路子。简单说,这玩意儿通过高压电场激发锡靶材,产生等离子体,放出13.5纳米的极紫外光。为什么选这条道?因为激光那套国外封得死死的,放电这路子能绕过去点,算是一种曲线救国的尝试。团队从2022年就开始捣鼓样机,那时候功率还低,稳定性也差,碎片污染老是问题,得用静电过滤啥的来处理。

到2023年,他们把原型机攒出来了,功率提到80瓦左右,能量转换效率2.5%。这时候跟国仪超精密集团搭上线,砸了11亿元建厂,主要是为了把实验室东西往工业化推。测试阶段挺严的,上千次循环放电,连续跑100小时,波动控制在1%内。磁场约束技术加进去后,等离子体密度高了,光输出也稳了。专家们说,这比激光激发那套结构简单,成本低一半多,体积小到原来的三分之一,便于塞进整机里。但短板也明摆着,功率稳定性在高负载下还得抠细节,碎片控制得再优化,不然光学件容易脏。

2024年上半年,关键测试过关了,光源功率推到100瓦,连续跑200小时衰减才0.5%。跟长春光机所换数据,确认镜片兼容。年中报告出来,说技术路径独特,能支持7纳米以下实验。下半年,拿了黑龙江省的科技成果转化奖,这算是个节点,从纯研究转应用。专利也申请了好几项,电极设计和碎片清除都覆盖了。业内人聊起来,说这光源能给国产链条添砖加瓦,但离整台机子还远,得光学系统、工件台啥的全配齐。

2025年1月,哈工大正式放话,功率达120瓦,实用化水平。波长纯度99%,效率3%以上,跑300小时波动0.8%。这消息一出,国内媒体炒得热,但外头反应冷淡,ASML和台积电没吱声。德国专家倒说了句,比预期快五年。试产阶段在东莞工厂启动,第三季度计划小批量组装。设备效率4.5%,每小时处理能力接近国际,但功率还卡在120瓦,国际标准是600瓦,得继续迭代。整体看,这突破给产业链上游注了劲儿,但别指望一下翻盘,得一步步来。

说起中芯国际,新加坡毕盛资产管理的王国辉在2023年彭博采访里直球,说中芯就差一台国产EUV,一旦出来,芯片大战就收官了。他有40年投资经验,专盯中国市场,看好中芯的点有仨:市场大,能规模经济;资金足,政府撑腰;人才多,每年500万理工毕业生。中芯市值那时1000亿美元,台积电上万亿,但他觉得中芯能赶上。采访后,外媒跟风报道,金融时报说华为5纳米绕封锁但成本高,彭博承认中芯2026年前受限但长期潜力大。德国之声提美国官员疑中芯违规,股价跌5%。南华早报说贸易紧张拉低利润。

中芯国际这几年日子过得紧巴巴的。2019年14纳米FinFET量产,用自主知识产权,低功耗平台撑物联网、移动和AI。客户有英特尔、AMD。2020年后,美国出口管制,EUV买不到,只能DUV多层曝光搞7纳米,成本高,良率低。但7纳米芯片性能追台积电5纳米,海思设计优化帮了大忙。2023年,华为Mate 60的麒麟9000S用中芯7纳米,外面震惊。2024年利润跌45%,剩4.93亿美元,投资回报少。港股股价晃荡,美日荷限DUV出口,产能扩不了。2025年计划砸73亿美元扩北京上海厂,但先进制程卡在5纳米上,没EUV难往下。

不过中芯没闲着。2025上半年,收入22亿美元,增16%,净利润3.2亿美元,涨35.6%。产能利用率92.5%,全球份额6%,排第三。智能手机市场稳,PC换机周期开,消费电子回暖。先进制程需求拉动,高盛9月上调H股目标价到73港元,维持买入。市值仨月增4000亿,A H股联动。全球纯代工排名,中芯第三,稳步推更精细节点。去年收入创新高,2025维持大资本支出,不分红,保生产和发展。

长江存储和长鑫存储在DRAM NAND上站稳,但整体链条短板明显。上游公司多,光刻机没全破。拜登限售,中芯停在5纳米。华为Ascend 910C贵,是H100禁售产物。从灰市进口GPU,代价大。但中国在投钱,上光所搞LPP,北京航材院三元芯片,清华稳态微聚束。避二进制功耗墙,长远看,王国辉的赢麻有谱。中芯产能爆,成本低,性价比高。台积电市值高,但地缘风险大。中国自主化减逆差,稳安全。半导体上游利润高,带岗位,国家不放手。

当然,路长着呢。哈工大是起点,功率得提,系统得整。外媒看好中芯,但制裁在,差距在。芯片不像汽车,拆研究难抄。需软件生态、全链。中国AI芯片重金投,超算模拟国产GPU超英伟达10倍,得落地。总的,哈工大添砖,中芯顶住,外媒鼓劲。但技术封锁严,突破靠实干。未来看中国速度超不超预期。芯片战场,不会轻易结束,但中国人不会认输。

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更新时间:2025-11-02

标签:科技   光刻   哈工大   技术   纳米   功率   芯片   中国   华为   等离子体   光源   美元

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