朗姆研究取得集成式原子层沉积和蚀刻处理关键尺寸控制专利

金融界2025年6月10日消息，国家知识产权局信息显示，朗姆研究公司取得一项名为“针对关键尺寸控制在单一等离子体室中的原子层沉积和蚀刻”的专利，授权公告号CN111615742B，申请日期为2018年11月。

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更新时间：2025-06-11

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