光刻机概念，人气最高的7家公司

7大核心企业：技术布局与商业落地

1. 光刻机生态整合者：张江高科（600895）

核心地位：参股上海微电子10.78%股权，深度绑定国产光刻机第一梯队。

成长性：2025年Q1净利润同比激增147.38%，园区光刻产业链集聚效应驱动资产价值重估。

技术协同：参与国家“02专项”孵化，整合光源、光学、精密机械全链条资源。

2. 精密光学镜头龙头：茂莱光学（688502）

核心地位：为上海微电子供应i线光刻机镜头模组，DUV物镜系统价值量达5000万元/台。

技术壁垒：全球唯二能量产微光学透镜阵列（精度±0.1μm），中标ASML超精密光学项目。

成长性：2025年Q1净利润同比暴涨288.7%，募资5.8亿加码EUV光学研发。

3. 激光光源晶体核心：福晶科技（002222）

核心地位：全球最大LBO/BBO非线性光学晶体供应商，ASML光刻机激光光源核心供应商。

技术突破：KBBF晶体可实现EUV激光倍频，华为哈勃战略投资布局氟化钙晶体。

成长性：光刻机光学元件收入占比升至30%，2023年净利润增长58%。

4. 清洗设备国际龙头：蓝英装备（300293）

核心地位：全球唯二通过ASML认证的清洗设备商，为EUV光刻机光学系统提供超精密清洗（颗粒残留<0.1μm）。

技术复用：清洗设备国产化率超80%，技术延伸至新能源汽车电池生产线。

成长性：2025年Q1光刻机清洗订单同比增120%，毛利率达42%。

5. 超精密光学系统平台：奥普光电（002338）

核心地位：中科院长光所旗下，光刻机曝光系统核心供应商，加工500mm镜片粗糙度优于0.5nm。

技术突破：光栅编码器国产替代率超70%，碳化硅反射镜用于7nm EPI设备。

资金关注：2025年股价上涨18.4%，连续3日主力资金净流入。

6. 光刻胶国产替代先锋：南大光电（300346）

核心地位：国内唯一实现ArF光刻胶量产企业，树脂、光敏剂100%自产，打破日本JSR垄断。

产业链角色：产品适配28nm及以下制程，直接用于中芯国际N+1工艺产线。

7. 电子特气认证王者：华特气体（688268）

核心地位：国内唯一通过ASML认证的光刻气供应商，4种混合气体纯度达99.9999%。

稀缺性：乌克兰危机后氖气供应紧张，公司市占率提升至35%，毛利率同比增8个百分点。