终于迎来实质进展,我国芯片领域取得新突破!

近日,一条来自中国北京大学的新闻,可能正在改变全球半导体产业的一些底层逻辑。

由彭海琳教授领导的团队,利用一种叫“冷冻电子断层扫描”的技术,首次看清楚了芯片制造过程中一种关键材料——光刻胶,在液体里到底是怎么运动的。

芯片制造里最复杂、最花钱也最花时间的步骤,叫光刻 。你可以把它想象成在米粒上雕刻一幅极其精细的《清明上河图》。光刻胶,就是雕刻时用的“颜料”。这“颜料”的性能,以及它在一种叫“显影液”的液体里如何被清洗掉,直接决定了你刻出来的图案清不清晰、会不会出错。

长期以来,光刻胶在显影液里到底发生了什么,对全世界的工程师来说都是一个“黑匣子”。工业界能做的,就是一遍又一遍地试验,像炒菜一样不断调整配方和火候,成本极高,效率极低。

北京大学干的这件事。就是在芯片制造的标准流程中,当光刻胶正在被显影液溶解的那个瞬间,用一种超快速的方法把这些液体“急冻”起来,速度快到分子都来不及反应,被“定格”在了当时的状态。然后,他们用冷冻电镜这个强大的显微镜,从不同角度给这个“冰块”拍照,再用电脑把这些照片合成为一个三维立体的动态影像 。

这一看,就看出了大问题。以前大家以为,被溶解的光刻胶分子会均匀地散布在液体里。结果发现,根本不是!大部分的光刻胶分子都喜欢“抱团”,而且喜欢吸附在液体的表面,形成一个个大小约30纳米的“小颗粒” 。你可以想象一下,你洗碗的时候,油污不是均匀地溶解在水里,而是在水面上结成一个个小油珠。这些光刻胶“颗粒”就是芯片的“杀手”,它们很容易重新沉积到已经被刻好的精密电路上,把本该分开的两条线路连在一起,造成短路,这个芯片就废了。找到了问题的根源,解决方案就变得清晰了。

研究团队提出了两个简单有效的方法:一是稍微提高一点烘烤温度,让光刻胶分子在溶解前就没那么容易“抱团”;二是在清洗的时候,让显影液像一层连续的水膜一样流过芯片表面,把这些“颗粒”顺势带走,不给它们重新落下的机会。

经过这么一番操作,在12英寸的晶圆片上,由这种光刻胶残留物引起的缺陷,被成功消除了超过99%。

对于芯片制造厂来说,这可能就意味着从亏损到盈利的巨大转变。尤其是在7纳米及以下的先进制程,因为技术极其复杂,任何一点小缺陷都可能导致整个晶圆报废,成本高昂。北大团队的方案,不是去发明一种全新的光刻胶,而是通过优化现有工艺,直接将缺陷率降低了99% 。这是一种极其聪明和务实的做法。

所以,中国的芯片制造商可以利用现有的设备和材料,通过改进工艺控制,就能大幅提升高端芯片的生产成功率。这在被外部封锁、难以获得最新最好材料和设备的当下,无疑是雪中送炭。它绕开了直接硬碰硬的材料研发难题,从“怎么用好”这个角度,为国产芯片的量产扫清了一个关键障碍。

这对于中国的光刻胶产业来说,也是一个巨大的福音。我们国家的芯片产业正在奋力追赶,光刻胶作为核心材料,市场规模正在飞速增长。根据锐观产业研究院的数据,2024年我国光刻胶市场规模已经增长到114亿元以上,预计今年将达到123亿元。

其次,它提供了一种“方法论”上的胜利,一个自主研发的强大工具。这个冷冻电子断层扫描技术,本质上是一个可以看清分子世界真相的“超级显微镜” 。这次它被用来解决了光刻胶的问题,下一次,它就可以被用来研究芯片制造中同样关键的“蚀刻”过程、“清洗”过程中的液体化学反应。

过去,我们追赶国外先进技术,很多时候是“知其然,而不知其所以然”,只能模仿,无法超越。而现在,我们拥有了可以洞察“所以然”的工具。

这标志着中国的半导体研究,正在从应用层面的追赶,开始走向基础科学和底层原理的探索与引领。这种能力的建立,比突破某一个单一产品要重要得多,它是真正实现科技自立自强的根基。

然而,在为这项重大突破感到振奋的同时,我们必须保持绝对的清醒和客观。一项技术的突破,并不代表整个产业的全面赶超。我们必须直面中国光刻胶产业与世界顶尖水平之间的巨大差距。

今天的全球光刻胶市场,尤其是高端市场,几乎被日本企业完全统治。东京应化、JSR、信越化学、富士胶片这几家日本公司,再加上美国的杜邦,它们合计占据了全球高端光刻胶市场90%以上的份额 。

日本企业为什么能做到垄断?因为他们有长达几十年的技术积累。比如,有报道提到,日本顶尖光刻胶的纯度可以做到“小数点后九个九”的级别,而我们国内的产品可能只能做到“七个九” 。这看似微小的差距,在纳米级别的芯片制造中,就会被无限放大,直接影响良率和芯片性能。

虽然近年来在政策支持和市场需求的双重驱动下,中国光刻胶产业发展很快,但主要成果集中在技术门槛相对较低的PCB光刻胶和部分面板光刻胶领域。在技术壁垒最高的半导体光刻胶上,我们的国产化率低得可怜。

所以,北京大学的这项突破的伟大之处,不在于它立刻就能让我们生产出比肩日本的顶级光刻胶,这是不现实的。它的真正价值在于,它为我们提供了一个“弯道超车”的全新思路。既然我们在“造颜料”的百年工艺积累上暂时落后,那我们能不能在“用好颜料”的科学方法上实现领先?

北大团队的研究成果恰恰证明了这条路是可行的。它让中国的芯片制造商有能力在拿到一种光刻胶后,不再仅仅依赖供应商给出的一个模糊的使用说明,而是可以通过自己的科学分析,找到这种材料的最佳使用方式,把它的性能发挥到极致,甚至弥补材料本身的一些不足。这极大地增强了我们在产业链中的主动权。

无论如何,这次北京大学团队取得的突破,其战略意义是毋庸置疑的。它标志着我们在芯片制造的核心工艺环节,从“知其然”向“知其所以然”迈出了一大步。在当前复杂的国际环境下,这种依靠底层科学原理创新来驱动产业升级的能力,比单纯引进技术、购买设备要重要得多。它给了我们真正把核心技术掌握在自己手里的底气。从这个角度看,这不仅仅是一篇发表在顶级期刊上的论文,更是我们迈向科技自立自强道路上的一块坚实的铺路石。前路漫漫,但曙光已现。

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更新时间:2025-11-01

标签:科技   实质   芯片   进展   领域   我国   光刻   显影液   中国   日本   北京大学   液体   材料   产业   技术

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