在当今人类的工业生产领域,光刻机无疑是人类最高技术水准的工业产品之一。
其中最高端的EUV光刻机(极紫外线光刻机),全球更是只有荷兰一个国家能生产。所以制造高端光刻机,为什么就这么难呢?
EUV光刻机
说到这个问题,我们就要简单了解一下光刻机的原理。
从“光刻机”这个名字上,就能知道它是用光在什么东西上进行“雕刻”的机器。
简单来说,光刻机的原理,就是利用含有极高能量的光在石头(单晶硅)刻蚀出纹路,然后再用其它技术在这些纹路中“埋设”金属铜。
制造芯片的单晶硅,一般是切成薄片使用
在“石头”中的铜变成了电路,就能传递电讯号,于是这枚“石头”就变成了一枚芯片。
要想提升这些芯片的性能,就需要让芯片拥有尽可能多的电路。所以在生产芯片的时候,就要用光刻机在芯片上刻蚀更细小的纹路,这样才能在“石头”上刻蚀更多的纹路。
光刻机的技术发展到了今天,精度已经达到了5纳米以下。这个“5纳米”指的是光刻机上栅极长度,以及宽度达到了5纳米的精度。
芯片电路结构图
芯片上的栅极更小,那么芯片上就能装入更多的栅极,从而提升更多的功率。所以生产芯片的“工艺级别”越小,芯片的效果也就越强,技术水平也就越高。
而要在芯片上装入小于5纳米的栅极,就需要波长在13.4纳米左右的光。
光的波长小于这个级别,其功率就不足以在“石头”上刻蚀出纹路。光的波长大于这个级别,那么其就无法在“石头”上刻蚀出足够小的纹路,也就无法在芯片上装入更小的栅极。
光的波长谱
而这个13.4纳米波长的光,就是“极紫外线”。因此使用这个波长对“石头”进行刻蚀,生产芯片的光刻机,就是“极紫外线光刻机”,也就是我们常说的EUV光刻机。
当前全球只有一家企业能生产EUV光刻机,那就是荷兰的阿斯麦公司(ASML)。
可以说EUV光刻机的生产技术是绝对的高精尖技术,它比原子弹都稀有。毕竟全球能生产原子弹的国家可是有9个,而且还有很多国家具备潜在的相关技术。但当前全球能生产高端EUV光刻机的国家就荷兰一个。
EUV光刻机
EUV光刻机之所以这么难生产,核心原因是其所需的零部件非常多。
早在2023年的时候,一台最先进的EUV光刻机就包含了超过45万个零部件。到现在光刻机技术又经过了2年发展,所需零部件又有很大的提升。
高端光刻机需要大量零部件
因为EUV光刻机所需零部件多,就带来了2个非常难解决的问题。其一是地球上没有任何一个国家有生产其全部零部件的能力,其二是很难对这些来自全球各国的零部件进行整合。
在第一点上,EUV光刻机上这45万个零部件那肯定不是螺丝、铁壳这样的东西,那全是技术含量很高的精细零部件。
而45万个精细零部件也就意味着,任何一个国家都很难自己生产出全部的EUV光刻机零部件。
我们上边提到荷兰的阿斯麦公司是全球唯一能生产EUV光刻机的国家,但其实阿斯麦公司也仅能生产EUV光刻机中大约15%的零部件。
荷兰阿斯麦公司
而剩下大约85%的零部件,则全部由欧盟、美国、加拿大,乃至是中国等主要工业国提供。
如果中国要生产EUV光刻机,自然也很难自己全部生产出所有的零部件,中国也需要欧洲、美国以及加拿大方面提供相关零部件。
但是现在问题来了,中国现在受到了西方在半导体产业上的制裁,欧洲、美国以及加拿大等国家不会对中国提供EUV光刻机的零部件。
西方不会对我国提供光刻机零部件
中国要生产EUV光刻机,自然不可能去东南亚国家、非洲国家那买EUV光刻机的零部件。这也就意味着中国要生产EUV光刻机,就需要自己生产出全部的零部件,那其难度自然远超荷兰生产EUV光刻机的难度。
至于第二点,生产EUV光刻机的这45万个零部件,来自全球几十个乃至是上百个国家和地区,要把来源于五湖四海的零部件整合到一起还不出差错,其难度可想而知。
中国作为全球唯一具备全产业链的国家,都难以独自生产EUV光刻机,那其它国家就更不行了。
阿斯麦光刻机的主要零部件产地
除开技术上的原因,其它国家难以生产EUV光刻机还有成本上的原因。
首先西方生产EUV光刻机,那是上面很多零部件都申请了专利的。后发国家要生产EUV光刻机,就需要绕过这些专利。
而能更早申请专利的技术,基本都是更容易实现的技术。后发国家要绕开这些专利,就需要投入更多的科研资源和资金,这会极高的拉高其研发成本,一般的小国家肯定拿不出这些成本。
研发光刻机需要极高的成本
其次,就算后发国家真的搞定了全部技术,生产出了自己的EUV光刻机,那么第二个问题就显现出来了,那就是市场接受度。
荷兰阿斯麦公司先造出EUV光刻机,产品先流入市场,那么其研发和建设生产线的成本就被分担得很薄了,人家卖EUV光刻机可以卖得更便宜。
后发国家后生产出EUV光刻机,在其研发成本没有收回来的情况下,要么前期使劲补贴亏本卖,要么就只能在前期卖出一个极高的价格。
半导体产业展会
不管你走哪条路,都很难和阿斯麦公司竞争。
如果后发国家使劲补贴自己的EUV光刻机生产企业,但如果阿斯麦公司也保持着极高的新产品推出速度,就意味着后发国家的企业,需要持续的投入资源去研发新产品,不然自己就会被市场淘汰。
如果后发国家的EUV光刻机生产企业需要持续的投入研发成本,就意味着它从第一台EUV光刻机开始,就只能以相当缓慢的速度从市场收回成本,那么其背后的国家就要一直补贴它。这个补贴的持续时间可能会持续几十年。
如果后发国家的企业走第二条路,也就是以高价出售EUV光刻机,那估计要不了几年就会倒闭。
毕竟消费者是花了真金白银买光刻机的,在质量相似的情况下,自然是谁更便宜买谁的。
信息来源:
【1】央广网·《光刻机国产化前景如何?》
【2】中国经济周刊·《光刻机之战》
【3】钛媒体APP·《市值蒸发超1000亿!ASML:中国仍需要很多年才能造出先进EUV光刻机|钛媒体AGI》
更新时间:2025-05-05
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