光刻机巨头开始慌了，中国造不成光刻机，但是要造一个光刻工厂！

话说光刻机这玩意儿，一直是芯片制造的核心设备，阿斯麦这家公司基本垄断了高端市场，尤其是EUV那种极紫外光刻机。

过去几年，中国市场给阿斯麦贡献了不少收入，2023年他们总营收将近300亿美元，中国占了不小比例，有些季度甚至接近一半。

2024年也差不多，总营收超过300亿美元，中国还是大头客户，主要买的是DUV那种成熟制程的设备。阿斯麦表面上看财报亮眼，但内部其实挺纠结的，因为出口管制越来越紧，政策窗口期在收窄，能自由卖设备的日子越来越少。

中国客户买设备也很现实，先囤着DUV机型稳住现有产线，保障芯片产能。阿斯麦短期业绩是上去了，但长远看，卖设备的利润不光是机器本身，后续维护、零件更换、技术升级才是大头。一旦服务也受限，那些卖出去的机器就成了烫手山芋，客户用着不放心，阿斯麦也赚不到持续钱。

高层在公开场合讲话都变谨慎了，不再像以前那么自信，总是提供应链稳定和市场开放。2025年他们预计中国营收降到20%左右，2026年整体增长只有5%左右，主要就是中国销售下滑拖后腿。阿斯麦高层在财报会上直言，中国市场从2024和2025年的高点回落，会影响整体表现。

这背后是整个行业格局在变，阿斯麦知道，中国不是单纯想复制一台EUV机器，而是换思路，搞集中式方案。传统EUV难在光源、镜头、系统配合，每部分都卡脖子，尤其是光源功率，几百瓦的稳定输出，花了行业几十年和海量资金。

中国团队没否认难度，但他们不死磕单机模式，转而探索稳态微聚束那种路径。从2017年起，清华大学团队就布局SSMB EUV，核心是建大型光源系统，集中产生光再分配到多个曝光端。2021年原理验证通过，参数显示功率能上千瓦级，这就把效率空间打开了。

这种方案不像单机那么紧凑，更像工业设施，避开了专利密集区。中国在系统集成和大型工程上有积累，高铁、航天那些经验都能用上。建光刻工厂的概念就是整合光源产生、传输、晶圆曝光、控制，所有环节协同。

现实操作是双轨推进，一边优化现有DUV设备，挖潜力稳产能，一边补材料和零部件短板。产业基金三期规模超3000亿元，重点投关键领域，光刻胶国产厂商在KrF、ArF上覆盖率提升，上海微电子也推进90纳米和28纳米设备。

阿斯麦慌的不是短期少卖几台机器，而是模式转变。从买设备到建体系，专利壁垒作用弱化，竞争维度拉高，谁组织大工程、搭生态谁占优。中国不再跟别人规则玩，开始定自己的玩法。

报告显示，2025年初深圳高安全实验室组装EUV原型，占地整个厂房，能产生13.5纳米极紫外光，正在测试。团队包括前阿斯麦工程师，用老部件组装，目标2028年出芯片。这原型不是小打小闹，填满工厂楼层，测试中生成光但距量产有距离。

中国多线并进，LPP那种传统光源也在追，SSMB是长期跃升。河北研究院规划SSMB项目，模拟千瓦输出，基建启动。

上海微电子28纳米浸没式设备交付，优化算法提高分辨率。产业基金加速投资，光刻材料企业扩产。阿斯麦2025年报告提客户支出受管制影响，服务合同审查增多。中国采购DUV稳线，同时国产胶水和部件连网，形成闭环。

巨头焦虑在于，这种工厂路径颠覆商业逻辑。设备不再是唯一入口，行业从参数比拼转到体系组织。中国投资37亿欧元进EUV辐射和设备，报导称已建原型避开禁令。

阿斯麦CEO说中国落后10到15年，但历史看，日本韩国追美芯也快。专家质疑原型是否真突破，强调从光到芯片远，但中国并行开发LDP、SSMB，资金足。

话说回来，阿斯麦股价从高峰掉1300亿市值，关税和限制添乱。2025年荷兰对华出口跌，芯片机清库存。

中国警告阿斯麦别扩管制，卖DUV给军方和量子院惹议。报导指中国升级老DUV，挤性能，但成本高。整体看，中国从被动买到主动建，冲击垄断。